避障固態(tài)混合激光雷達廠家-北醒光子科技有限公司

MEMS激光雷達

相控陣技術是MEMS實現激光雷達功能的另一個解決方案，其基本原理是，MEMS的微小移動產生光程差，多個具有不同相位的出射光束在遠場干涉形成光束偏轉。韓國Byung-WookYoo等人的研究小組對此方案進行研究，如圖6所示，在硅基上制備具有8×8高對比光柵的MEMS結構相控陣，優(yōu)化的性能表現為10V電壓即可產生1.7π的相移，具有0.5MHz的響應速度，采用透鏡系統(tǒng)擴大視場，測量得到遠場總視場角為9.14°×9.14°。

MEMS激光雷達

二維掃描的MEMS微振鏡是激光雷達的關鍵器件，主要可以通過電熱效應、靜電效應、電磁效應和壓電效應驅動。有研究小組通過對電熱雙壓電晶片驅動的微振鏡加熱，金屬鋁的形變大于介質硅，從而形成微結構的振動。實驗可以施加電壓2.3V，獲得9°的偏轉角。但是電熱效應引起微振鏡偏轉通常響應速度較低，避障固態(tài)混合激光雷達，有實驗通過施加12mW的電功率，響應速度只有74Hz。電磁效應驅動的MEMS系統(tǒng)需要在內部封裝可動磁性物質或者可動線圈產生磁場，如圖3所示，通過施加磁場形成洛倫茲力使得線圈產生偏轉，從而驅動MEMS振鏡偏轉，響應速度可以超過10kHz。壓電效應需要異質材料的介入，壓電材料（PZT）具有、響應速度快等優(yōu)點。日本研究小組采用電鍍的方法在硅上沉積PZT薄膜，加工形成MEMS結構并進行光學掃描，避障固態(tài)混合激光雷達廠家，實驗獲得11.2kHz的響應速度，39°的視場角。靜電效應驅動MEMS具有尺寸小、可單片全集成的優(yōu)點，受到廣泛研究。通常，采用靜電效應驅動微反射鏡的方式需要在真空環(huán)境下，以獲得更高的驅動效率，10V電壓驅動可以實現大約10°的掃描角度。瑞典KTH的研究小組近期驗證了一種新方法，如圖4所示，避障固態(tài)混合激光雷達價格，通過MEMS改變光柵周期實現衍射光角度偏轉，在20V電壓驅動下達到5.6°的掃描角度，功率消耗在微瓦量級。

激光雷達基本原理

激光雷達可以高精度、高準確度地獲取目標的距離、速度等信息或者實現目標成像。如圖1所示是激光雷達的發(fā)射和接收在同一系統(tǒng)中的工作原理。激光通過掃描器單元形成光束角度偏轉，光束與目標作用形成反射/散射的回波。當接收端工作時，可產生原路返回的回波信號光子到達接收qi，接收端通過光電探測器形成信號接收，經過信號處理得到目標的距離、速度等信息或實現三維成像?？梢?，光束掃描器和探測系統(tǒng)的實現方式便是研究重點，需求從機械式向小型化全固態(tài)方向發(fā)展。

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