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電子束結(jié)構(gòu)介紹
粒子增速器的結(jié)構(gòu)可以與顯像管類比。顯像管中的電子對(duì)應(yīng)于增速器的電子或離子源,顯像管中加速電子用的高壓電極對(duì)應(yīng)于增速器中的高壓加速電極及加速腔。顯像管中控制電子運(yùn)動(dòng)的電偏轉(zhuǎn)板與聚焦電子的聚焦線圈,對(duì)應(yīng)于增速器中控制粒子運(yùn)動(dòng)軌道和聚焦粒子束流的多種電磁部件,mbe分子束外延設(shè)備哪家好,如導(dǎo)向磁鐵、聚焦磁鐵、多極校正磁鐵等。對(duì)粒子增速器的粒子運(yùn)行管道來(lái)說(shuō),mbe分子束外延設(shè)備,為了減少粒子在運(yùn)動(dòng)中與殘余氣體碰撞而造成粒子的丟失和束流性能變壞,所要求的真空度比顯像管要高數(shù)千到數(shù)萬(wàn)倍。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,根據(jù)科學(xué)家對(duì)粒子能量和流強(qiáng)的不同要求,陸續(xù)產(chǎn)生了不同原理、不同結(jié)構(gòu)的多種增速器。
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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是由哪些部分組成的?
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設(shè)備組成:
設(shè)備由薄膜沉積室、真空獲得系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、水冷卻循環(huán)系統(tǒng)、膜厚監(jiān)測(cè)及控制系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)組成。
作用:電子束蒸鍍常用來(lái)制備Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜,SiO2、ZrO2膜,mbe分子束外延設(shè)備廠家,抗腐蝕和耐高溫氧化膜。
電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點(diǎn)
* 渦輪分子泵,mbe分子束外延設(shè)備價(jià)格,串接機(jī)械泵或干泵
* pocket電子
* 電子束源和基片遮板
* 性能好的開關(guān)電源,杰出的消弧性能
* 自動(dòng)Pocket索引以及可編程的掃描控制器
* 膜厚監(jiān)測(cè),可設(shè)置目標(biāo)膜厚作為工藝終點(diǎn)條件
* 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),提供高均勻性
* 帶觀察視窗的腔門,便于放片/取片
* PC全自動(dòng)控制,具有高度的可重復(fù)性
* Labview軟件的計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制控
* 多級(jí)密碼保護(hù)的授權(quán)訪問設(shè)計(jì)
* EMO保護(hù)以及完全的安全聯(lián)鎖
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