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真空腔體——真空度的分類
真空腔體可以按照真空度進行分類,包括粗或低真空度(< 760,非標定制真空腔體哪家好, > 1 torr),中真空度(< 1,非標定制真空腔體價格, >10-3 torr),高真空度(< 10-3, >10-8 torr),超高真空度(< 10-8 torr),以及非真空的高壓力 (> 760 torr)。真空腔的寬度和外徑等常規(guī)尺寸是非常重要的參數(shù)。標準鐘形罩或柱形腔體的可選直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。
真空腔體或者真空組件的可選項包括法蘭、裝配形式、表面拋光或電拋光、開口或傳導(dǎo)口,加熱器和冷卻方式等。
真空腔體中抽氣管道的設(shè)計原則
為一個工藝選擇真空泵時,非標定制真空腔體,工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達到大,需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。
看起來似乎很簡單,但是這里有許多因素需要考慮。實際上,如果我們從物理學(xué)角度考慮,就可以明確哪些是關(guān)鍵因素。真空腔體
在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下,如果抽氣管道內(nèi)沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝),抽氣管道任何截面的質(zhì)量流量必須相同。簡單而言,進入工藝室的氣體必須從泵出來。
已知氣體摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文),則質(zhì)量流量計算如下:
質(zhì)量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)
Ro=通用氣體常數(shù)
對于大多數(shù)抽氣系統(tǒng)而言,氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著減少,而且可以合理地假定為恒定的。
在此情況下,抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體
由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力,可見壓力(P)必須在工藝室中為高值,非標定制真空腔體廠,在泵入口為低值。
由于我們假定通量恒定,可見抽氣速率(S)在工藝室為小值,在泵入口為大值(等于泵速)。
非標定制各種真空腔體
1.腔體常規(guī)材質(zhì):不銹鋼304,可定制不銹鋼316、316L腔體,弧焊接,表面特殊工藝,拋光處理,外表美觀,
2.按ISO9001質(zhì)量管理體系組織設(shè)計、加工、裝調(diào)、檢驗、包裝、運輸;
3.提供該設(shè)備的技術(shù)檢測報告;
4. 腔體設(shè)有快開進樣門,鉸鏈機構(gòu),移動靈活,快開門密封件材質(zhì)采用氟橡膠;
5. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制;
6. 腔室內(nèi)外超聲波清洗,表面清潔;
6. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
8. 配合適的真空系統(tǒng),真空度可進入10-6Pa;
9. 供貨周期:確認方案后5到6周;
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