宿州鍍膜機(jī)-至成鍍膜機(jī)生產(chǎn)廠家-全自動(dòng)鍍膜機(jī)廠家

真空鍍膜設(shè)備的正常工作條件

1.環(huán)境溫度：10~30℃

2.相對(duì)濕度：不大于70%

3.冷卻水進(jìn)水溫度：不高于25℃

4.冷卻水質(zhì)：城市自來水或質(zhì)量相當(dāng)?shù)乃?/p>

5.供電電壓：380V，三相50Hz或220V，單相50Hz，電壓波動(dòng)范圍342~399V或198V~231V，頻率波動(dòng)范圍49~51Hz；

6.設(shè)備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應(yīng)在產(chǎn)品使用說明書上寫明。

7.設(shè)備周圍環(huán)境整潔、空氣清潔，不應(yīng)有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導(dǎo)電的塵?；驓怏w存在。

真空鍍膜設(shè)備背壓檢漏法

背壓檢漏法是一種充壓檢漏與真空檢漏相結(jié)合的方法，真空鍍膜設(shè)備中多用于封離后的電子器件、半導(dǎo)體器件等密封件的無損檢漏技術(shù)中。

其檢漏過程基本上可分為充壓、凈化和檢漏三個(gè)步驟。

(1)充壓過程是將被檢件在充有高壓示漏氣體的容器內(nèi)存放一定時(shí)間，如被檢件有漏孔，示漏氣體就可以通過漏孔進(jìn)入被檢件的內(nèi)部，并且將隨浸泡時(shí)間的增加和充氣壓力的升高，被檢件內(nèi)部示漏氣體的分壓力也必然會(huì)逐漸升高。

(2)凈化過程是采用干燥氮?dú)饬骰蚋稍锟諝饬髟诔鋲喝萜魍獠炕蛟谄鋬?nèi)部噴吹被檢件。

如不具備氣源時(shí)也可使被檢件靜置，以便去除吸附在被檢件外表面上的示漏氣體。

在凈化過程中，因?yàn)橛幸徊糠謿怏w必然會(huì)從被檢件內(nèi)部經(jīng)漏孔流失，從而導(dǎo)致被檢件內(nèi)部示漏氣體的分壓力逐漸下降，而且凈化時(shí)間越長(zhǎng)，示漏氣體的分壓降就越大。

(3)檢漏過程則是將凈化后的被檢件放入真空室內(nèi)，將檢漏儀與真空室相連接后進(jìn)行檢漏。

抽真空后由于壓差作用，示漏氣體即可通過漏孔從被檢件內(nèi)部流出，然后再經(jīng)過真空室進(jìn)入檢漏儀，按檢漏儀的輸出指示判定漏孔的存在及其漏率的大小。

多片式比較片裝置的設(shè)計(jì)特點(diǎn)

1)固定筒圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和周向?qū)ΨQ的固定方式，可保證其有足夠的強(qiáng)度和剛度，同時(shí)，還可阻止高溫濺射磨料對(duì)其內(nèi)部零部件污染，保證撥動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)的靈活性。

2)圓形軸承座的設(shè)計(jì)，保證軸承座安裝的密封性和垂直度；增大軸的直徑尺寸，加大軸承座中兩軸承的安裝間距，提高其自身的強(qiáng)度和剛度，保證轉(zhuǎn)動(dòng)過程中軸1的剛度和撥動(dòng)盤的旋轉(zhuǎn)靈活性、位置重復(fù)的一致性。

3)裝載換位機(jī)構(gòu)，通過擴(kuò)大支承盤的直徑，使該機(jī)構(gòu)在平面方向的有效面積增大，可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片，有利于光路調(diào)整，提高光學(xué)薄膜質(zhì)量；比較片由單片玻璃作為一個(gè)比較片單元，比較片采用空間立體疊加安裝方式，多片玻璃疊加安裝在一個(gè)比較片存儲(chǔ)筒內(nèi)，實(shí)現(xiàn)一次可放置50~100片比較片，解決鍍膜機(jī)鍍制多層精密光學(xué)薄膜，比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問題。

4)定位盤與槽型光藕的配合，通過槽型光藕來感知定位盤上三個(gè)均分的120°狹縫，控制電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)停止。軸1旋轉(zhuǎn)定位重復(fù)的一致性得到保證，帶動(dòng)撥動(dòng)盤完成準(zhǔn)確的撥片動(dòng)作。

5)轉(zhuǎn)動(dòng)密封饋入機(jī)構(gòu)引入威爾遜密封機(jī)構(gòu)，既保證電機(jī)通過齒輪嚙合帶動(dòng)軸的靈活轉(zhuǎn)動(dòng)，又保證真空室對(duì)外部的密封作用。優(yōu)化設(shè)計(jì)的真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置，其特點(diǎn)：(1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，強(qiáng)度高，可靠性好；(2)比較片裝載數(shù)量大，生產(chǎn)效率提高，可鍍制超多層精密光學(xué)薄膜；(3)比較片直徑增大，提高薄膜監(jiān)控的精度，降低對(duì)硬件系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制；