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鍍膜機(jī)-光學(xué)鍍膜機(jī)-至成真空科技

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發(fā)布時(shí)間:2021-12-03 04:03  








真空鍍膜機(jī)真空鍍膜機(jī)廠(chǎng)家真空鍍膜設(shè)備工藝清洗


真空鍍膜機(jī)真空工藝進(jìn)行前應(yīng)清洗真空材料,從工件或系統(tǒng)材料表面清除污染物;車(chē)燈鍍膜機(jī)零部件的表面清洗處理也是很有必要的,因?yàn)橛晌廴疚锼斐傻臍怏w、蒸氣源不僅會(huì)使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在,同時(shí)也會(huì)影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。

真空鍍膜機(jī)污染物可以定義為“任何一種無(wú)用的物質(zhì)或能量”,多弧離子鍍膜機(jī)根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體,它們以膜或散粒形式存在。就其化學(xué)特征來(lái)看,它可以處于離子態(tài)或共價(jià)態(tài),可以是無(wú)機(jī)物或有機(jī)物。

真空鍍膜機(jī)暴露在空氣中的表面易受到污染,污染的來(lái)源有多種,起初的污染通常是表面本身形成過(guò)程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸析和干燥過(guò)程、機(jī)械處理以及擴(kuò)散和離析過(guò)程都使各種成分的表面污染物增加。



光學(xué)鍍膜機(jī)電子打火問(wèn)題是怎么引起的,該如何減少次數(shù)呢?


很多人對(duì)光學(xué)鍍膜機(jī)電子打火問(wèn)題很疑惑,不知道是什么原因產(chǎn)生的,也不知道該如何減少這種情況的發(fā)生,今天至成真空小編為大家講解一下光學(xué)鍍膜機(jī)電子打火問(wèn)題是怎么引起的?

電子在蒸鍍時(shí),由于電子束中的電子與氣體分子和蒸發(fā)材料的蒸汽發(fā)生碰撞產(chǎn)生的離子轟擊帶負(fù)電高壓電極及其引線(xiàn),即產(chǎn)生打火。另外,若這些帶負(fù)高壓電的部分有塵粒等雜物,會(huì)使該處電場(chǎng)集中了容易打火。故電子束蒸鍍?cè)O(shè)備的高壓電源都附有高壓自動(dòng)滅弧復(fù)位裝置,在打火非常嚴(yán)重時(shí)才會(huì)自動(dòng)切斷高壓,然后又自動(dòng)恢復(fù),切斷與恢復(fù)的時(shí)間愈短,愈不會(huì)影響蒸鍍工藝。

那么,在安裝和使用的過(guò)程中,該如何才能減少打火次數(shù)。首先、高壓引線(xiàn)應(yīng)盡量短,并用接地良好的不銹鋼板屏蔽住,不要追求美觀把引線(xiàn)彎來(lái)彎去。然后,頭金屬件和引線(xiàn)定期用細(xì)砂紙打光,然后清洗干凈。上螺釘?shù)穆菘锥ㄆ谟媒z錐攻螺孔,以便螺釘上下方便并保證壓的很緊。接著,所有陶瓷件污染后應(yīng)予更換。電子體應(yīng)可靠接地。對(duì)放氣量大的材料應(yīng)充分預(yù)熱以除氣。蒸鍍時(shí)功率要合適,不可過(guò)高造成材料飛濺。高壓饋線(xiàn)與高壓絕緣子金屬件的接線(xiàn)一定要可靠并經(jīng)常檢查,以免增大接觸電阻造成發(fā)熱而燒壞。蒸發(fā)檔板應(yīng)高于蒸發(fā)源70mm.1



真空鍍膜機(jī)設(shè)備真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)特點(diǎn)


真空鍍膜機(jī)在等離子體束濺射中,濺射離子均勻刻蝕靶面,并且不會(huì)使靶面產(chǎn)生氧化。與磁控濺射相比,其中的等離子體束是由射頻等離子體源產(chǎn)生的,磁場(chǎng)的作用則是使等離子體束會(huì)聚并偏轉(zhuǎn)至靶面,因此,雖然等離子體束濺射鍍膜系統(tǒng)內(nèi)也有磁場(chǎng),但其磁場(chǎng)卻并不控制影響濺射,這也摒棄了磁控濺射中由磁場(chǎng)不均勻帶來(lái)的“磁控”的缺點(diǎn)。在濺射完成后,所得的靶材利用率可高達(dá)90%以上。

真空鍍膜機(jī)即分別進(jìn)行磁控濺射和等離子體束濺射之后靶面刻蝕的對(duì)比圖。由于靶材的利用率大幅度提高,也解決了磁控濺射中所難以克服的缺點(diǎn),即靶中的毒導(dǎo)致的刻蝕不均勻

真空鍍膜機(jī)此外,磁控濺射由于背面磁鐵磁場(chǎng)不均勻而產(chǎn)生濺射跑道,非磁場(chǎng)約束區(qū)很容易產(chǎn)生氧化,因此很難沉積鐵磁性材料,而等離子體束濺射中由于不用磁鐵作為等離子體約束,能夠進(jìn)行鐵磁性材料的鍍膜,并且可以使用很厚的靶材,圖3中實(shí)驗(yàn)金屬鈷的厚度即為6mm。對(duì)于鐵、鎳、鉻以及鐵磁性化合物,等離子體束濺射也都具有很高的濺射速率。

應(yīng)用該項(xiàng)鍍膜技術(shù)的系統(tǒng)還有一個(gè)優(yōu)點(diǎn),當(dāng)將電磁線(xiàn)圈的極性反接時(shí),由于磁場(chǎng)的方向產(chǎn)生了變化,等離子體束會(huì)在磁場(chǎng)的作用下轟擊基片,從而對(duì)基片產(chǎn)生清洗作用,如圖4所示。這實(shí)際上可以使得應(yīng)用該項(xiàng)技術(shù)的鍍膜機(jī)省略常規(guī)鍍膜機(jī)的清洗用離子源。

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