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背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高,能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè),可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。背壓法的缺點(diǎn)是不能進(jìn)行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導(dǎo)致加壓時(shí)間太長(zhǎng)。此外,每個(gè)測(cè)量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)漏率,在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢,排除大漏的可能。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜分析原理,以氦為示蹤氣體,對(duì)真空設(shè)備和密封器件的漏隙進(jìn)行定位或定量、定性測(cè)量的完整系統(tǒng)。我們知道氣體在電子的轟擊下會(huì)產(chǎn)生帶電粒子,帶電粒子在電場(chǎng)的作用下獲得能量做加速動(dòng)力,而在磁場(chǎng)的作用下將做圓周運(yùn)動(dòng),而具有不同質(zhì)荷比的離子其運(yùn)動(dòng)半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場(chǎng)的作用下按荷質(zhì)比分離,這門研究使不同質(zhì)量的粒子在電磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)并依質(zhì)荷比進(jìn)行分離的學(xué)科稱為質(zhì)譜學(xué)。根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種,將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測(cè)技術(shù)中的重要應(yīng)用。
另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿?。這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。 氦氣在空氣中含量非常少,只有5ppm(空氣中占約1/200,000);在被測(cè)試的物體內(nèi)部所殘留的空氣中的氦氣含量也非常少;由于氦分子量小、分子直徑?。ㄔ谠刂芷诒碇性趦H排在氫的后面),即便是極其微小的滲漏孔也能方便地通過;由于具有化學(xué)上的不活躍性,不會(huì)污染排氣系統(tǒng)及被測(cè)試物體, 由于具有對(duì)人體無害性和不可燃爆性,因此使用安全方便; 對(duì)分析管的分辨率要求并不高,容易實(shí)現(xiàn)高靈敏度;不存在環(huán)境污染問題。為什么要檢漏?泄漏和密封相對(duì)應(yīng)很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。
真空法氦質(zhì)譜檢漏:采用真空法檢漏時(shí),需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空,采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí),氦氣就會(huì)通過漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部,再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。氦質(zhì)譜檢漏儀在壓力容器中的常用方法:在壓力容器中,使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏常用的方法大體可分為三種,即噴氦法(負(fù)壓法),吸法(正壓法),氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言,鋰電氦檢專機(jī)廠家,噴氦法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時(shí),也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。部件-分子泵,采用*檢漏儀用的分子泵。 美國(guó)AD放大器,有效降低了檢漏儀本身的噪音,提高了檢漏儀的靈敏度。 180度非均勻磁場(chǎng)的質(zhì)譜室設(shè)計(jì),對(duì)焦準(zhǔn)確,靈敏度高。 檢漏口耐壓高,可檢漏率量程寬,大漏小漏全可檢。 離子源燈絲采用氧化釔銥金燈絲,壽命長(zhǎng)、靈敏度高。 檢漏狀態(tài)下的三屏切換,信息更豐富,檢漏更方便。 具有快速清氦功能和快速響應(yīng)功能。檢漏狀態(tài)一鍵清零。 全自動(dòng)液晶觸摸彩屏顯示,實(shí)現(xiàn)了智能自動(dòng)化,操作方便、簡(jiǎn)單可靠。 中英文菜單。
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