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檢漏儀-博為光電|產(chǎn)品眾多-進(jìn)口檢漏儀

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發(fā)布時間:2022-02-19 05:02  





質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)人磁場。由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質(zhì)比分離,這門研究使不同質(zhì)量的粒子在電磁場中運動并依質(zhì)荷比進(jìn)行分離的學(xué)科稱為質(zhì)譜學(xué)。根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種,將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應(yīng)用。很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力作用下,流進(jìn)或流出這個空間,如真空設(shè)備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,進(jìn)口檢漏儀,氧氣瓶,空調(diào)冰箱的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,檢漏儀,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省_@些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用過程中也要定期利用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏檢查。


背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高,能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測,可以進(jìn)行批量化檢測。背壓法的缺點是不能進(jìn)行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導(dǎo)致加壓時間太長。此外,每個測量漏率都對應(yīng)兩個等效標(biāo)準(zhǔn)漏率,在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢,排除大漏的可能。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜分析原理,以氦為示蹤氣體,對真空設(shè)備和密封器件的漏隙進(jìn)行定位或定量、定性測量的完整系統(tǒng)。我們知道氣體在電子的轟擊下會產(chǎn)生帶電粒子,帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力,而在磁場的作用下將做圓周運動,而具有不同質(zhì)荷比的離子其運動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質(zhì)比分離,這門研究使不同質(zhì)量的粒子在電磁場中運動并依質(zhì)荷比進(jìn)行分離的學(xué)科稱為質(zhì)譜學(xué)。根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種,將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應(yīng)用。


為什么要檢漏?泄漏和密封相對應(yīng)很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進(jìn)工作腔體,氦檢漏儀報價,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣,可以實現(xiàn)漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來,在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣,可以實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備報價,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)人磁場。由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。


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