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背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高,能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè),可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。背壓法的缺點(diǎn)是不能進(jìn)行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導(dǎo)致加壓時(shí)間太長(zhǎng)。此外,每個(gè)測(cè)量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)漏率,在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢,排除大漏的可能。按照收集氦氣方式的不同,又可以將正壓法分為正壓吸法和正壓累積法。其中正壓吸法采用檢漏儀吸對(duì)被檢產(chǎn)品外表面進(jìn)行掃描探查,可以實(shí)現(xiàn)漏孔的; 正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái),采用檢漏儀吸測(cè)量一定時(shí)間段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度變化量,實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。檢漏的基本任務(wù)靠采取一些標(biāo)準(zhǔn)檢漏技術(shù)來(lái)完成,而采用哪種技術(shù)要根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來(lái)決定。近年來(lái)由于電子工業(yè)的發(fā)展,空間探索活動(dòng)的增加,檢漏技術(shù)得到了快速發(fā)展,它的重要標(biāo)志是將以氦為示蹤氣體的氦質(zhì)譜檢漏儀已快速地進(jìn)入了各個(gè)適用的領(lǐng)域。
質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中的兩種方法。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。為什么要檢漏?泄漏和密封相對(duì)應(yīng)很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。背壓法氦質(zhì)譜檢漏:采用背壓法檢漏時(shí),首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中,浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天,如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔,氦氣便通過(guò)漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中,使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品,將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi),被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過(guò)漏孔泄漏到真空容器,再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,鋰電池設(shè)備廠家,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測(cè)量。檢漏儀給出的漏率值為測(cè)量漏率,需要通過(guò)換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀同其它檢方法相比,除檢漏方法不同之外,以它的檢測(cè)靈敏度高、速度快,可進(jìn)行定性、定量、的檢測(cè)特別是選擇無(wú)破壞性、無(wú)毒,無(wú)危險(xiǎn)的隋性氣體氦為示蹤氣體,使它成為今天檢漏儀器當(dāng)中的。
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