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1、地板的鋪設(shè)應(yīng)在室內(nèi)土建及裝修施工完畢后進(jìn)行;
2、地面應(yīng)平整、干燥、無(wú)雜物、無(wú)灰塵;
3、地板下可使用空間,布置敷設(shè)電纜、電路、水路、空氣等管道及空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)在安裝地板前施工完畢;
4、大型重設(shè)備基座固定應(yīng)完工,設(shè)備安裝在基座上,基座高度應(yīng)同地板上表面完成高度一致;
5、施工現(xiàn)場(chǎng)備有220V/50HZ電源及水源。
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動(dòng)線規(guī)劃要點(diǎn):要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)的流程等,盡量縮短動(dòng)線,并避免交叉,以防止交叉污染。作業(yè)者、化學(xué)藥品、材料等動(dòng)線勿集中;無(wú)塵車間四周,宜設(shè)緩沖區(qū);制造裝置的出入,不要對(duì)作業(yè)產(chǎn)生大影響。
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在高等級(jí)的無(wú)塵室中從天花板到地面,完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過(guò)濾空氣完全交換所計(jì)算出來(lái)的數(shù)值。同時(shí),空氣的流向也必須要有控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無(wú)阻,因?yàn)樵诹魍窂街杏姓系K物的話,容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域,使得附近已發(fā)生的微粒子無(wú)法快速排除而長(zhǎng)時(shí)間漂流在無(wú)塵室內(nèi),而一部分會(huì)附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。
控制氣流可防止微粒子累積,但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。
為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無(wú)塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對(duì)于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進(jìn)行除電。
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