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潔凈室的控制養(yǎng)護
嚴格控制潔凈室與相鄰房間之間的壓差同樣是保證生產房間空氣潔凈度的重要環(huán)節(jié)。不同潔凈級別的潔凈室及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差應大于5帕斯卡,潔凈區(qū)與室外壓差應大于10帕斯卡,且送風、回風和排風系流的啟閉應聯鎖并按順序操作,這樣可以避免空氣倒流,減少低級別塵埃對潔凈室環(huán)境的污染。每次生產前及一定的生產周期后須對清潔后的潔凈室在靜態(tài)條件下進行塵埃粒子數的檢測,以評價和掌握潔凈室塵埃粒子的含量。
各行業(yè)對潔凈度等級的要求
一級凈化車間:主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的要求為亞微米。10級:主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。
百級凈化車間:可用于醫(yī)i藥工業(yè)的無菌制造工藝等。
千級凈化車間:主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機陀螺儀,裝配高質微型軸承等。
萬級凈化車間:主要用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級潔凈室在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
十萬級凈化車間:十萬級潔凈室用于很多的工業(yè)部門,比如光學產品的制造,潔凈室,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產等。
潔凈室各分部工程的外觀檢查應符合下列要求:
一、凈化空調器凈壓箱、風管系統(tǒng)及送、回風口無灰塵。
二、潔凈室的內墻面、 吊頂表面和地面,應光滑、平整,色澤均勻,不起灰塵,地板無靜電現象。
三、送、回風口及各類末端裝置、各類管道、照明及動力線配管、以及設備等,穿越潔凈室時,穿越的密封處理應可靠嚴密。
四、潔凈室內各類配電盤、 柜和進入潔凈室的電氣管線管口應可靠密封。
五、各種刷涂保溫 工程應符合有關規(guī)定。
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