環(huán)保柜氦檢漏設(shè)備

真空設(shè)備檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說是一個(gè)檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對(duì)氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。

氦質(zhì)譜檢漏儀：

1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，環(huán)保柜氦檢漏設(shè)備，進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。

2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對(duì)分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個(gè)縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。

3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時(shí)本底信號(hào)小。

真空設(shè)備檢漏

北京科儀真空技術(shù)有限公司（簡稱：科儀）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊(cè)資金500萬?？苾x產(chǎn)品主要有：薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備，檢漏設(shè)備，真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設(shè)備；超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。

如何選擇檢漏方式，與檢測對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負(fù)壓模式。詳細(xì)檢漏方法與測量工作過程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測試端口與檢漏儀相連，

待測器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只需測量待測器件外部大氣通過器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個(gè)測量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，

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