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6、氣體管路的支架要求耐腐蝕，可以采用不銹鋼或其他合適的工程塑料等制作。

7、氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的直徑，設(shè)置合適的支架位置。

8、特氣管道需與其他管道分開(kāi)單獨(dú)引入，哪里可以維修廈門(mén)分子泵維修維修保養(yǎng)，氫氣管道與其他管道同架鋪設(shè)時(shí)間隔少0.25M，切應(yīng)在其他管道上方。

9、其他標(biāo)準(zhǔn)要求則需根據(jù)實(shí)驗(yàn)室具體結(jié)構(gòu)制定。

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3.大宗特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類(lèi)包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等)，100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括NH3)，發(fā)光二極管的磊晶工序線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類(lèi)包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纖(氣體種類(lèi)包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

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　　本項(xiàng)目配備有：特氣柜GC、單瓶高壓控制面板、管道輸送系統(tǒng)設(shè)備、閥門(mén)分配箱VMB、終端二次調(diào)壓面板VMP、二次配、泄漏報(bào)警系統(tǒng)。

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