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廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環(huán)真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。
現(xiàn)代的油擴散泵在泵入口處,泵油的返流已降至大約室溫下泵油蒸發(fā)速率的水平。
只有在使用時遵守一定的操作規(guī)程,節(jié)能微油螺桿真空泵維修,才能保證系統(tǒng)的正常工作。前已詳細(xì)敘述過有關(guān)機械泵、擴散泵的操作規(guī)程。經(jīng)人們生產(chǎn)實踐,對排氣系統(tǒng),也同樣總結(jié)出來一套操作規(guī)程。以高真空排氣系統(tǒng)為例(其他真空設(shè)備可仿照施行),永磁變頻無油真空泵維修,其操作規(guī)程如下:①檢查真空系統(tǒng)各部分,熟悉系統(tǒng)的氣路結(jié)構(gòu),了解真空系統(tǒng)各元件的作用以及操作部分的電路聯(lián)接。②關(guān)閉放氣閥門,啟動機械泵,對系統(tǒng)進行抽氣,并隨時用火花檢漏器對系統(tǒng)各部分進行檢漏。如系全金屬系統(tǒng),則可關(guān)閉閥門,用真空計讀數(shù)記下P-t曲線(作靜態(tài)升壓試驗)。如壓強隨時間呈直線上升,永磁變頻無油真空泵維修,可斷定系統(tǒng)有漏氣源,應(yīng)進行檢漏。③當(dāng)系統(tǒng)真空度達到油擴散泵的前置壓強(5×10-2托)后,啟動擴散泵,使加熱電流逐漸升到額定(佳)值。在啟動擴散泵前,必須先開冷卻水。④擴散泵正常工作后,用火花檢漏器(或熱偶計)判斷量測系統(tǒng)的真空度。到10-3托以上(熱偶計近滿偏或95格以上)才能使用電離真空計。使用時先對規(guī)管除氣,后測量真空度。
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擴散泵在長期工作后性能會逐漸變壞,應(yīng)定期檢查。如:泵油是否減少或氧化,按相應(yīng)要求加油或更換處理;零件及泵腔先用航空清洗,然后用進行擦洗,并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風(fēng)吹干。處理完后,按順序進行裝配,保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心,各級噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。
待水分揮發(fā)干以后裝好泵芯,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。
在重新開機前,要注意檢漏工作。方法是:啟動維護泵,關(guān)好大門,數(shù)分鐘后,觀察真空度,同時檢查連接處是否漏裝密封膠圈,或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴散泵油會燒壞,無法進入工作狀態(tài)。
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由于擴散泵噴嘴噴出來的油蒸氣分子,大部分由泵壁冷凝,這是因為泵壁外設(shè)置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射,散射會返回被抽空間,這種現(xiàn)象在低溫實驗室中要特別注意。如在擴散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫?fù)醢澹@樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來,截止了油蒸氣的返流。
影響油擴散泵性能的因素如下。
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