多槽超聲波清洗機(jī)-巴克超聲波-清洗機(jī)

噴淋臂旋轉(zhuǎn)無阻礙：測(cè)試噴淋臂確保旋轉(zhuǎn)順滑均勻。   ? 清洗機(jī)底部排水篩無雜物：清洗機(jī)底部的排水篩會(huì)留滯來自器械組的污染物。應(yīng)至少每天取下篩網(wǎng)并清洗，或根據(jù)使用次數(shù)增加清洗頻率。阻塞的篩網(wǎng)會(huì)阻礙水流和排水，從而影響清洗機(jī)的清洗效力。   ? 器械架聯(lián)軸器與歧管正確對(duì)齊。確保清洗機(jī)水/清洗液進(jìn)口與清洗架歧管正確對(duì)齊，如果沒有對(duì)齊，多槽超聲波清洗機(jī)，水流、水分布及水壓都會(huì)受到影響，清洗機(jī)，并且都可能導(dǎo)致清洗機(jī)運(yùn)行不正常。水壓不足會(huì)導(dǎo)致噴淋臂無法正常運(yùn)轉(zhuǎn)，還會(huì)削弱機(jī)械清洗作用。

濟(jì)南巴克超聲波科技有限公司是一家從事工業(yè)清洗設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè)，總部位于濟(jì)南市臨港開發(fā)區(qū)，碳?xì)淝逑礄C(jī)，標(biāo)準(zhǔn)化廠房面積13000余平方米。員工人數(shù)：150余人，超聲波清洗機(jī)廠家，擁有工程技術(shù)人員20余人，新設(shè)備研發(fā)人員：10余人，售后人員：10余人。年產(chǎn)值4000多萬元。

旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)簡(jiǎn)介

旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)

1.旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)帶有過濾裝置的設(shè)備，在使用過程中應(yīng)定期更換過濾芯；，這樣才能保證設(shè)備的額使用壽命；

2.無電加熱檢查電源，溫度控制器設(shè)定是否在正常位置，檢查相關(guān)的水位開關(guān)，檢查電熱器是否失效；更換失效組件；

此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因?yàn)榛瘜W(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時(shí)間比較短，對(duì)反應(yīng)需要一定時(shí)間的清洗效果不好。在噴洗過程中所使用的化學(xué)試劑很少，對(duì)控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。

隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來越先進(jìn)，對(duì)實(shí)際制造的幾個(gè)環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。

清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小，半導(dǎo)體對(duì)雜質(zhì)含量越來越敏感，而半導(dǎo)體制造中不可避免會(huì)引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對(duì)芯片良率的影響，實(shí)際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗，清洗步驟約占整體步驟的33%。

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