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再根據(jù)該工程的具體情況,同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力,凈化室設(shè)計,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的方案。1、組合式空氣處理機組 冷水機組 送風(fēng)口這是一個傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計方案。福州同盛凈化彩鋼板有限公司福州同盛凈化彩鋼板有限公司
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,福州凈化室,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,無塵凈化室,以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。
控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。4分類編輯亂流式 (Turbulent Flow)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板亂流式回風(fēng)。福州同盛凈化彩鋼板有限公司。
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