潔凈車間裝修-杭州潔凈車間-浙江科潔凈化(查看)

無塵車間潔凈室（區(qū)）與周圍的空間必須維持在一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。1、不同等級(jí)的無塵車間潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈車間裝修，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。2、無塵車間潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點(diǎn)，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定3、送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖，正壓差潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)，關(guān)閉時(shí)聯(lián)鎖程序應(yīng)相反，負(fù)壓差潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反4、非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，潔凈車間設(shè)計(jì)，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。

無塵車間生產(chǎn)對(duì)于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對(duì)濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。

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