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凈化車間隔間分為三大部分,更衣室,天津芯片廠費用,千級區(qū)和百級區(qū),更衣室與千級區(qū),千級區(qū)和百級區(qū)均設風淋室(airshower),天津芯片廠,凈化車間與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進入凈化車間時,首先要經(jīng)過風淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋,達到落塵的效果。千級區(qū)過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區(qū)過濾器采用ULPA,天津芯片廠哪家好,過濾效率99.9995%。
無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設計之房間。無塵車間室內(nèi)空氣經(jīng)處理后,所含微粒數(shù)少于一定數(shù)量要求,一般分十萬級、萬級、千級等,即室內(nèi)每立方米空間的微粒數(shù)不大于十萬、一萬、一千個……。目前,無塵車間已經(jīng)在電子、光學、精密儀器、注塑等行業(yè)里廣泛使用。
潔凈室(區(qū))內(nèi)設置真空泵時,應符合下列規(guī)定:1.電子工廠裝修對于傳輸、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵,應采用不燃泵油,并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產(chǎn)工藝設備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2.對傳輸含有可燃氣體的真空泵,可燃氣體濃度超過下限的20%時,應設尾氣處理裝置,在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分。3.使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置,除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng)。
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