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浙江飛雨與您分享電子無(wú)塵車(chē)間凈化工程步驟
電子無(wú)塵車(chē)間凈化工程重點(diǎn)注意事項(xiàng)
飛雨環(huán)境科技為您解答凈化工程裝修施工有哪些步驟:
進(jìn)場(chǎng)——整理——風(fēng)管——彩鋼板——天花——風(fēng)口——地板——空調(diào)——收尾——清潔——單機(jī)調(diào)試——整體調(diào)試——竣工驗(yàn)收—— 保修
浙江飛雨環(huán)境科技有限公司是一家從事空氣凈化工程及設(shè)備研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、安裝、維護(hù)于一體的高新科技企業(yè),業(yè)務(wù)遍及食品飲料、日用品化妝品、光電光學(xué)、醫(yī)院工程、生物工程、實(shí)驗(yàn)室等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。無(wú)塵凈化工程
浙江飛雨與您分享電子無(wú)塵車(chē)間凈化工程設(shè)計(jì)施工要求
電子無(wú)塵車(chē)間是為了滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室,電子無(wú)塵車(chē)間凈化工程對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室,電子無(wú)塵車(chē)間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。
電子行業(yè)車(chē)間凈化
根據(jù)電子無(wú)塵車(chē)間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類(lèi)型:循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。無(wú)塵凈化工程
種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車(chē)間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用,對(duì)于大面積高等級(jí)的凈化車(chē)間則存在運(yùn)行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。
第2種形式的設(shè)計(jì)可以滿(mǎn)足集成電路制造無(wú)塵車(chē)間大面積高等級(jí)的要求,但運(yùn)行成本較高,并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級(jí)改造困難,因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整,這些都能很好地滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為主要的凈化設(shè)計(jì)方案。
FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是:整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成,由FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力,將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過(guò)超過(guò)濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對(duì)于工藝層為負(fù)壓。此外,還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域,包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。無(wú)塵凈化工程
集成電路制造對(duì)電子無(wú)塵車(chē)間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。不同的工藝制程對(duì)潔凈度的要求也各不相同,例如光刻要求在1級(jí)的微環(huán)境下,而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求1000級(jí)的環(huán)境即可。
另外,集成電路制造潔凈廠房對(duì)噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求,尤其是振動(dòng)的控制,在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就要有所要求。
浙江飛雨環(huán)境科技有限公司是一家從事空氣凈化工程及設(shè)備研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、安裝、維護(hù)于一體的高新科技企業(yè),車(chē)間無(wú)塵凈化工程價(jià)格,業(yè)務(wù)遍及食品飲料、日用品化妝品、光電光學(xué)、醫(yī)院工程、生物工程、實(shí)驗(yàn)室等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。無(wú)塵凈化工程
浙江飛雨與您分享車(chē)間凈化工程中的噪聲超標(biāo)問(wèn)題
關(guān)于車(chē)間凈化工程中的噪聲超標(biāo)問(wèn)題,是每一個(gè)凈化廠家都應(yīng)認(rèn)真對(duì)待的,無(wú)塵凈化車(chē)間工程報(bào)價(jià),從根源上解決噪聲超標(biāo)這個(gè)問(wèn)題,是車(chē)間凈化工程設(shè)計(jì)的一個(gè)關(guān)鍵問(wèn)題。
CBJ73《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定,電子無(wú)塵凈化工程廠家,空態(tài)檢測(cè)時(shí),亂流無(wú)塵車(chē)間的噪聲級(jí)不宜大于 60dB(A)。噪聲超標(biāo)的車(chē)間大部分是采用層流罩的車(chē)間,所以小編認(rèn)為盡可不采用,尤其不應(yīng)在大量局百設(shè)計(jì)中采用。如果不得已采用,應(yīng)是在允許圍圍基本到底的情況下并注意消聲。無(wú)塵凈化工程
另外一個(gè)原因,由于系統(tǒng)不合理,如回風(fēng)口太小,濾層阻力太大,宿遷無(wú)塵凈化工程,罩子的進(jìn)風(fēng)口太小,進(jìn)風(fēng)速度太大(甚至達(dá)到十幾米),都使系統(tǒng)阻力過(guò)大,風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速過(guò)高,產(chǎn)生很大噪聲。這些都是車(chē)間凈化工程設(shè)計(jì)要注意避免的。此外,回風(fēng)口及門(mén)縫的哨音也是噪聲偏大的一個(gè)重要因素。無(wú)塵凈化工程
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