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廣州潽拓光電科技有限公司——英福康真空泵皮拉尼真空計維修
真空計(Vacuum Gauge),又稱規(guī),是測量真空度或氣壓的儀器.一般利用不同氣壓下的某種物理效應的變化進壓的測量.在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用.按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,英??嫡婵毡眯蘩韮r格,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能,利用氣體動力學和利用帶電粒子效應的真空計,皮拉尼真空計維修
皮拉尼真空計:它的原理是加熱電阻絲,使電阻絲升溫至需要的工作溫度。由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時會帶走能量,電阻絲的溫度會發(fā)生變化。熱電阻絲的能量損失與其周圍的氣體濃度以及氣體成份成比例關系。由此又衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī),種是溫度穩(wěn)定,測量電壓變化;第二種是電壓穩(wěn)定,測量溫度變化。對電阻絲在不影響精度與速度的情況下加以保護,英??嫡婵毡镁S修養(yǎng)護,能夠大大延長電阻絲的使用壽命,皮拉尼真空計維修
真空法氦質(zhì)譜檢漏:
采用真空法檢漏時,需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空,采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣,當被檢產(chǎn)品表面有漏孔時,氦氣就會通過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部,再進入氦質(zhì)譜檢漏儀,從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測量。氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優(yōu)良特性:①氦氣在空氣中的含量少,體積含量為5。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。
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壓力控制儀可在手動和自動兩種工況下運行。當開關S打到手動位置時,壓力控制儀相當于一個手動微調(diào)真空閥,進行手動壓力調(diào)節(jié);當開關S打到自動位置時,壓力控制儀構成一個閉環(huán)的自動控制系統(tǒng),可實現(xiàn)壓力定值自動調(diào)節(jié)其調(diào)節(jié)過程是:首先由給定單元設定希望控制的壓力值,根據(jù)具體的被控對象的特性,選擇好PID調(diào)節(jié)單元的比例度艿、積分時間Ti、微分時間Td等參數(shù)。英??嫡婵沼嫳pB(yǎng)
當真空測量單元輸出一個表征被控真空裝置真空室壓力高低的電壓信號時,茂名英??嫡婵毡?,壓力節(jié)單元可將壓力設定值與壓力測量值進行比較,并將差值進行運算(例如P、PI、PID);然后通過驅(qū)動電路,驅(qū)動真空調(diào)節(jié)閥,改變進入真空室的氣體流量,從而使真空室內(nèi)的壓力維持在給定值上。
當然,這是理想的控制狀態(tài),實際上,由于壓力控制儀的壓力調(diào)節(jié)單元的特性所致,被控壓力只能是趨近于給定壓力值,并與給定壓力值保持允許的偏差范圍內(nèi)。這個偏差值的大小,即表示壓力控制儀壓力控制精度的高低。英??嫡婵沼嫳pB(yǎng)
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如果使用真空法檢測泄漏,則應使用輔助真空泵或泄漏檢測器對測試產(chǎn)品的內(nèi)部密封室進行真空處理,并通過氦帽或噴霧法將氦氣施加到測試產(chǎn)品的外表面。如果被測產(chǎn)品表面有泄漏孔,氦氣通過泄漏孔進入被測產(chǎn)品,然后進入氦氣質(zhì)譜儀檢漏儀,實現(xiàn)對被測產(chǎn)品的泄漏測量。根據(jù)泄漏方法的不同,英??嫡婵毡镁S修中心,真空過程可分為真空注入法和真空氦帽法。
在填充檢漏氣體之前,有必要快速測試是否有大的泄漏。對大泄漏孔的一個簡單測試方法是在短時間內(nèi)抽空樣品并觀察抽空壓力。如果樣品能夠保持抽空壓力,則表明沒有大的泄漏孔,可以填充泄漏檢測氣體。
如果氣密檢漏儀在運行過程中沒有在高壓下進行泄漏測試,那么氦氣檢漏設備就不能檢測到一些泄漏孔。因此,在檢漏過程中使用較高的測試壓力可以有效地檢測實際操作中沒有出現(xiàn)的泄漏孔。
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