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特種氣體在太陽能電池中的應用:晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2,減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3,工業(yè)特種氣體,刻蝕工藝用到 CF4;特種氣體分類:高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體,對于不同類別的氣體,純度指標不同,天津特種氣體,大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域;特種氣體的重要性:正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大,應用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。
20 世紀 80 年代,電子產 業(yè)的興起推動特種氣體的需求提高,隨著氣體供應商供氣模式的引入,國內 企業(yè)原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨立的氣體公司,國內特種氣體市 場逐步發(fā)展起來。特種氣體的主要生產工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測等步驟,特種氣體生產廠家,其中氣體的純化、混配等是氣體公司的競爭力。特種氣體的儲存注意事項:高壓容器內,存有內容物時,無論內容量多少,在該容器儲存場地2m內,嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。
特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。工業(yè)上,特種工業(yè)氣體,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產品統(tǒng)稱為氣體產品.氣體產品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產銷量雖小,但根據不同的用途。目前,國內共有特種氣體生產企業(yè)達150余家,多數企業(yè)生產規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。
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