②干式螺桿真空泵:它是一種不用油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡?。③液環(huán)式真空泵:帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi),當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時,恩施真空爐,把液體(通常為水或油)拋向泵殼內(nèi)形成泵殼同心的環(huán)液,環(huán)液同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積,故亦稱旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。④羅茨真空泵:泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。機械增壓泵即為這種形式的真空泵。

⑶真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,工業(yè)真空爐,但不能抽氦,真空爐原理,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。

采用低電壓大電流:在真空容器內(nèi),當(dāng)真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內(nèi)時,真空容器內(nèi)的通電導(dǎo)體在較高的電壓下,會產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。在真空熱處理爐內(nèi),嚴(yán)重的會產(chǎn)生弧光放電,燒毀電熱元件、隔熱層等,造成重大事故和損失。因此,真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓,真空爐廠家,一般都不超過80一100伏。同時在電熱元件結(jié)構(gòu)設(shè)計時要采取有效措施,如盡量避免有的部件,電極間的間距不能太小窄,以防止輝光放電或者弧光放電的發(fā)生。
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