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光刻膠介紹
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光刻膠是電子領域微細圖形加工關鍵材料之一,是由感光樹脂、增感劑和溶劑等主要成分組成的對光敏感的混合液體。在紫外光、深紫外光、電子束、離子束等光照或輻射下,其溶解度發(fā)生變化,經(jīng)適當溶劑處理,溶去可溶性部分,光刻膠廠家,然后得到所需圖像。 光刻膠作為技術門檻極高的電子化學品一直被國際企業(yè)壟斷。 隨著大力研發(fā)和投入,山西光刻膠, 國內企業(yè)已逐步從低端 PCB 光刻膠發(fā)展至中端半導體光刻膠的量產(chǎn)。
光刻膠的分類
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硅片制造中,光刻膠的目的主要有兩個:(1)將掩模版圖形轉移到硅片表面頂層的光刻膠中;(2)在后續(xù)工藝中,保護下面的材料(例如刻蝕或離子注入阻擋層)。
分類
光刻膠的技術復雜,品種較多。根據(jù)其化學反應機理和顯影原理,可分負性膠和正性膠兩類。光照后形成不可溶物質的是負性膠;反之,對某些溶劑是不可溶的,光刻膠供應商,經(jīng)光照后變成可溶物質的即為正性膠。圖1是正性膠的顯影工藝與負性膠顯影工藝對比結果示意圖 [2] 。
光刻膠的未來發(fā)展
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由于光刻膠的技術壁壘較高,國內光刻膠市場基本被國外企業(yè)壟斷。特別是高分辨率的KrF和ArF光刻膠,基本被日本和美國企業(yè)占據(jù)。
國內光刻膠生產(chǎn)商主要生產(chǎn)PCB光刻膠,面板光刻膠和半導體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模相對較小。國內生產(chǎn)的光刻膠中,PCB光刻膠占比94%,LCD光刻膠和半導體光刻膠占比分別僅有3%和2%。
國內光刻膠需求量遠大于本土產(chǎn)量,且差額逐年擴大。由于國內光刻膠起步晚,目前技術水平相對落后,生產(chǎn)產(chǎn)能主要集中在PCB光刻膠、TN/STN-LCD光刻膠等中低端產(chǎn)品,TFT-LCD、半導體光刻膠等高技術壁壘產(chǎn)品產(chǎn)能很少,仍需大量進口,從而導致國內光刻膠需求量遠大于本土產(chǎn)量。
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