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在電子元件制品的制造過程中,微粒子污染對成品率有重大影響,故應(yīng)在過程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量,遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。
無塵室內(nèi)防止微粒子污染基本原則:
排除/除去
在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中,為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的,昆山無塵室設(shè)備,但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向無塵室外排氣,負離子檢測儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。
無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則:
不攜入
在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有:
作業(yè)員進入無塵室前,機臺、零件攜入前應(yīng)進行清潔處理;
進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
通過風(fēng)淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進入無塵室。
機器及材料帶進無塵室前,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進入無塵室。
無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時,其綜合經(jīng)濟性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室,無塵室設(shè)備拆卸運輸公司,末級過濾器滿布率時,無塵室設(shè)備搬遷公司電話,對大的系統(tǒng)采用FFU,當(dāng)前還是不經(jīng)濟的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。
(3)對潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室,末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟性往往相差不多,但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的,因此當(dāng)前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時,采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。
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