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壓電陶瓷執(zhí)行器因其體積小、位移分辨率高、響應速度快、輸出力大、換能效益高等優(yōu)點,廣泛應用于掃描探針顯微鏡、自適應
/主動光學元件、納米定位、振動控制、聲學、聲納、微流體輸送等領域中[1]。對于壓電陶瓷穩(wěn)定工作很多困難亟待解決,其中迫切的就是驅動電源,壓電陶瓷驅動電源技術己成為目前壓電陶瓷執(zhí)行器應用中的關鍵技術之一[2]。
如超聲波傳感器,一個復合式振動器被靈活地固定在底座上。該復合式振動器是諧振器以及,由一個金屬片和一個壓電陶瓷片組成的雙壓電晶片元件振動器的一個結合體。諧振器呈喇叭形,目的是能有效地輻射由于振動而產生的超聲波,并且可以有效地使超聲波聚集在振動器的中央部位。如超聲波傳感器,淮南壓電陶瓷片,一個復合式振動器被靈活地固定在底座上。該復合式振動器是諧振器以及,由一個金屬片和一個壓電陶瓷片組成的雙壓電晶片元件振動器的一個結合體。諧振器呈喇叭形,目的是能有效地輻射由于振動而產生的超聲波,并且可以有效地使超聲波聚集在振動器的中央部位。
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