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旋葉式真空泵使用范圍
1.泵是獲得真空的基本設備,它可單獨使用,亦可作為各類高真空的系統(tǒng)的前綴泵和預抽泵。
2.泵進氣口連續(xù)敞通大氣運轉,不得超過三分鐘
3.泵不使用于抽出對金屬月腐蝕性的,對泵油起化學反應的,含有顆粒塵埃的氣體,以體含氧過高的氣體
4.泵不得作壓縮泵或輸送泵用
5.裝電源時,按電機標牌的規(guī)定接線,應注意電機旋轉方向與支座上箭頭方向一致
6.連續(xù)被抽容器的管道,其直徑應不小于泵的進氣口直徑,且管道應短和彎頭少,同時注意管道的泄露
旋片式真空泵系列(有油)用途:
本真空泵用于產生抽空(真空)。提供的性能參數以海拔800米為準。不能用于抽吸有毒或易ran物質。只能吸入普通干燥空氣。技術參數:移動自如的旋片安插在與泵體同心的轉子的狹槽中。當轉子旋轉,離心力推動旋片在泵缸壁內旋轉,在轉子與泵缸之間的壓縮空間中產生若干氣室。當氣室經過入口端,空氣流入;這一特點以及噪音低的優(yōu)勢使之成為廣泛適用于各種應用(包括GCMS和其他小工作臺式應用)的理想產品。轉子持續(xù)旋轉的離心力壓縮吸入空氣,zui后壓縮空氣經出口端沖出。按真空水平(壓力差異)嚴格配置的潤滑油使旋葉與泵缸結合緊湊。用單級真空即可達到為0.5mbar的真空水平。單軸、直接驅動 - 這一簡單耐用的設計符合長期使用、低維護成本,低操作成本的工作原理。 帶有嵌入散油器的油循環(huán)系統(tǒng)完全安裝在設計良好的蓋子下面,在極端的環(huán)境條件下也可保證zui小的噪音和安全的操作。 本泵設計緊湊,包含一個嵌入式止回閥及一個的油分離系統(tǒng)。 吸入量:6—630 立方米/小時真空水平:0.5mbar
我司從事機電自動化,光電存儲媒體,半導體,醫(yī)liao,太陽能電池板,玻璃鍍膜,科學研究所等真空鍍膜設備維修,銷售,設計,開發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開發(fā),leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一線品牌分子泵,真空泵,真空計專業(yè)維修保養(yǎng)/銷售等業(yè)務。0*10-7mbar*持續(xù)模擬生產現(xiàn)場測試24小時*0-20KHz震動頻譜加速度分析。
功能和優(yōu)勢
-先進的轉子技術
-無油
-低振動
-高度可靠
-免維護
-先進的控制器設計
-自動調整
-自行診斷功能
-直流電機驅動
-無電池運行
-緊湊型設計
-占地面積小
-半機架控制器
應用
-金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物)
-電子回旋共振
-(ECR) 刻蝕
-光致抗蝕劑脫模
-晶體/晶膜生長
-晶片檢查
-負載鎖真空腔
-科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
-高能物理:射束線
應用:融合系統(tǒng)、回旋
廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設備研制、生產、銷售、工程安裝及售后維修服務于一體的綜合性企業(yè),由從事多年真空系統(tǒng)開發(fā),真空設備技術研發(fā),維修工程師,工程師組成的一支技術實力雄厚,充滿活力的高素質團隊。伴著嚴謹的內部項目實施管理,控制制流程,確保每一項真空設備的工藝技術先進性和質量的可靠性。主要從事機電自動化,光電存儲媒體,半導體,太陽能電池板等真空鍍膜設備維修,銷售,設計,開發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開發(fā),承接等,是leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian)等一線品牌分子泵專業(yè)維修廠商。nEXT平臺實現(xiàn)高度的模塊化,為滿足客戶應用和需求提供了**的靈活性。
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Edwards-8愛德華抽真空泵,一般輸液泵特點
(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;
(2)轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現(xiàn)較高轉速;
(3)泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;
Edwards-8愛德華抽真空泵,一般輸液泵特點
(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;
(2)轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現(xiàn)較高轉速;
(3)泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;
(4)泵腔內無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;