【廣告】
真空鍍膜系統(tǒng)
機(jī)械傳動部分
涂層要求周邊必須厚度均勻一致,因此,在涂層過程中須有三個轉(zhuǎn)動量才能滿足要求。即在要求大工件臺轉(zhuǎn)動(I)的同時,小的工件承載臺也轉(zhuǎn)動( II),并且工件本身還能同時自轉(zhuǎn)(III)。在機(jī)械設(shè)計(jì)上,一般是在大工件轉(zhuǎn)盤底部中央為一大的主動齒輪,周圍是一些小的星行輪與之嚙合,如果要實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品自轉(zhuǎn)的話,一般用撥叉撥動工件自轉(zhuǎn)。
油擴(kuò)散泵在真空鍍膜機(jī)中的作用
油擴(kuò)散泵:機(jī)械泵的極限真空只有10-2帕,真空鍍膜廠家,當(dāng)達(dá)到10-1帕的時候,實(shí)際抽速只有理論的1/10,如果要獲得高真空的話,必須采用油擴(kuò)散泵。
油擴(kuò)散泵的應(yīng)用壓強(qiáng)范圍是10-1帕-10-7帕,它是利用氣體的擴(kuò)散現(xiàn)象來排氣的,它具有結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,抽速大等特點(diǎn)。油擴(kuò)散泵主要由泵殼、噴嘴、導(dǎo)流管和加熱器組成,里面主要添加擴(kuò)散泵油(日本的型號是D-704#),根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。
擴(kuò)散泵底部內(nèi)儲存有擴(kuò)散泵油,上部為進(jìn)氣口,右側(cè)旁下部為出氣口,在工作時出氣口由機(jī)械泵提供前置壓強(qiáng),機(jī)械泵充當(dāng)前置泵。
當(dāng)擴(kuò)散泵的油被電爐加熱時,產(chǎn)生的油蒸汽提供前置壓強(qiáng),機(jī)械泵充當(dāng)前置泵。當(dāng)擴(kuò)散泵油被電爐加熱時,產(chǎn)生的油蒸汽沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機(jī)械泵提供的1-10-1帕的真空,故油蒸汽可噴出一段距離,構(gòu)成一個向出氣口方向運(yùn)動的射流。射流后碰上由冷卻水冷卻的泵壁,凝結(jié)為液體,流回蒸發(fā)器,即靠油的蒸發(fā)——噴射——凝結(jié),重復(fù)循環(huán)來實(shí)現(xiàn)抽氣的。
由進(jìn)氣口進(jìn)入泵內(nèi)的氣體分子,一旦落入蒸汽流中,便獲得向下運(yùn)動的動量,向下飛去,由于射流具有高的流速(約200米/秒),高的蒸汽密度,且擴(kuò)散泵油具有高的分子量(300-500)故能有效的帶走氣體分子,因此在射流的界面內(nèi),氣體分子不可能長期滯留,真空鍍膜系統(tǒng),且在射流界面的兩邊,被抽氣體有很大的濃度差,正是因?yàn)檫@個濃度差被抽氣體能不斷的越過界面,擴(kuò)散進(jìn)入射流中,遼寧真空鍍膜,被帶往出口處,在出口處再由機(jī)械泵抽走。
擴(kuò)散泵的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素,因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油,其化學(xué)特性要好。
由于油擴(kuò)散泵是無法有返油的幾率,那么沒有辦法保證精密產(chǎn)品的100%純凈,特別是半導(dǎo)體行業(yè),所以就有“高真空冷凝泵+低真空機(jī)械泵”所組成的無油真空系統(tǒng),冷凝泵組成的排氣系統(tǒng)不僅排氣效率極高,而且有效保證真空腔的清潔,保證產(chǎn)品的質(zhì)量(避免產(chǎn)品被污染、增強(qiáng)膜層與基板之間的附著力),但是其維護(hù)成本非常的高,造價昂貴,所以普及率沒有油擴(kuò)散泵廣泛。
想了解更多產(chǎn)品信息,您可撥打圖片上的電話咨詢!
真空鍍膜系統(tǒng)
在OLED顯示面板的制造過程中,需要在玻璃基板上進(jìn)行有機(jī)膜層的真空蒸鍍,真空鍍膜哪里有,該工作步驟需要在真空蒸鍍機(jī)內(nèi)來完成。因此,提供一種手套箱蒸鍍一體機(jī),本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和真空手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
企業(yè): 艾明坷科技(北京)有限公司
手機(jī): 18515419377
電話: 010-80575437
地址: 北京市通州區(qū)宋莊鎮(zhèn)丁各莊環(huán)村北路2-1號