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varian真空分子泵維修產(chǎn)品介紹「多圖」

發(fā)布時間:2021-10-12 13:56  

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廣州潽拓光電科技——adixen ATH-M系列磁懸浮渦輪分子泵

應用

-玻璃鍍膜

-微處理系統(tǒng)加工

-離子束矯正

-電子顯微鏡

-空間模擬腔

-半導體工藝

-鍍膜與薄鍍膜工藝

-許多研發(fā)試驗


產(chǎn)品特征

-無需保養(yǎng)的磁性軸承

-無油的,干凈的真空

-任何方向安裝

-可抵抗氣體沖擊

-較小的體積和重量

-緊湊的1/2 Rock控制器

-一體化控制器





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廣州潽拓光電——渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。

這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。



分子泵的原理

       分子泵是一種動量型真空獲得設備,子分子流態(tài)下,氣體分子與高速運動的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動量,從而使氣體分子得到逐級壓縮,后被抽除。



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