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真空腔體加工的注意事項
焊接是真空腔體制作中的環(huán)節(jié)之一。通常采用弧焊來完成焊接,可避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生化學反應而影響焊接質(zhì)量,弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體氣,以防止熔化后的高溫金屬發(fā)生氧化反應。
超高真空腔體的弧焊接,原則上必須采用內(nèi)焊,即焊接面是在真空一側(cè),以免存在死角而發(fā)生虛漏。真空腔體不允許內(nèi)外雙重焊接和雙重密封
個大氣壓在1cm2的面積上產(chǎn)生約1kgf的壓力,對直徑20cm的法蘭來講,就是1t的壓力。圓筒或球形的腔體,由于構(gòu)造的特殊性使得壓力分散,腔體的壁厚2~4mm就不會變形。
但是,對于方形腔體,側(cè)面的平板上要承受上噸的壓力,必須通過增加壁厚或設(shè)置加強筋,才能防止變形。
影響真空絕緣水平的主要因素
電極的幾許形狀
電極的幾許形狀對電場的分布有很大的影響,往往因為幾許形狀不行恰當,引起電場在部分過于集中而導致?lián)舸@一點在高電壓的真空產(chǎn)品中特別杰出。
電極邊際的曲率半徑大小是重要因素。一般來說,曲率半徑大的電極接受擊穿電壓的能力比曲率半徑小的大。
此外,擊穿電壓還和電極面積的大小成反比,即跟著電極面積的增大而有所下降。面積增大導致耐壓下降的原因主要是放電概率添加。
真空腔體制造技術(shù)
基板指的是一個大的法蘭適配器,可以把一個位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵?;逋ǔS幸粋€位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置,可連接到真空抽氣系統(tǒng)。
脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結(jié)構(gòu),一般帶有鉸鏈接口,可連接不需要高真空環(huán)境的其他裝置,如塑料樣品、血液、粘合劑、化學制品或其他液體的除氣設(shè)備。
輔助井用于連接抽氣系統(tǒng)和鐘形罩。
基地井整合了基板和真空密封頸,用焊接接頭取代一個真空密封件,可以同時實現(xiàn)基板和密封設(shè)備兩個部件的功能。
鐘形罩由圓柱形的主體和一個半球形或球形的端口組成??蛇x材料包括玻璃、金屬和塑料。標準鐘形罩的直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。