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發(fā)布時(shí)間:2020-07-29 22:51  






凈化車間凈化工程的工作流程是怎樣的

無塵凈化工程對車間有明確的要求,為了滿足需要、保證產(chǎn)品質(zhì)量,要對車間的環(huán)境、人員、設(shè)備和生產(chǎn)過程等進(jìn)行控制。車間的管理,包括對車間工作人員、物料以及設(shè)備、管線管理。對車間工作人員工作服的制作,車間的清洗。室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃、滅菌等,防止車間內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生。設(shè)備、設(shè)施的維護(hù)管理,制定相應(yīng)的操作規(guī)范,保證設(shè)備按要求運(yùn)轉(zhuǎn),包括凈化空調(diào)系統(tǒng),水氣電系統(tǒng)等,確保生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度等級。對車間內(nèi)設(shè)施的清掃、滅菌,防止車間內(nèi)微生物的滯留、繁殖等。為了更好地做好無塵凈化工程,就需要從無塵車間著手




凈化車間的原理:

通過空調(diào)系統(tǒng)和凈化裝置把空氣進(jìn)行調(diào)濕、調(diào)溫和過濾,然后把凈化的空氣通過凈化車間的過濾器送入到凈化車間內(nèi),達(dá)到潔凈等級的標(biāo)準(zhǔn).

通常: 溫度: 22℃±3 ℃;濕度:55%±5%.包括:

1.空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng);

2.2. 空氣凈化系統(tǒng).

凈化車間的類型:

按潔凈度和氣流的狀態(tài)的組合可以分為三種方式:

1.紊亂式凈化車間;

2.水平平行流式凈化車間;

3.垂直平行流式凈化車間

通過凈化車間屋頂?shù)倪^濾器出口向屋內(nèi)送風(fēng).通過墻壁的排氣口回風(fēng),以玻璃纖維為主

體的制成的過濾網(wǎng)。




凈化車間屬于人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。


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