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每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。人⑷無口罩發(fā)菌量:有口罩發(fā)菌量1:7~1:14⑸發(fā)菌量:發(fā)塵量1:500~1:1000據(jù)國內(nèi)事例:⑹手術(shù)中人員發(fā)菌量878個(gè)/min。
無塵室的優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,無塵室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵室等級。
無塵室的缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi) 空間飄浮不易排出,易污染制無塵室程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再重啟,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。
蘇州卓宇泰起重設(shè)備安裝有限公司主營設(shè)備安裝,設(shè)備包裝,設(shè)備吊裝,無塵室設(shè)備移位與定位,大型廠房搬遷等業(yè)務(wù)。
簡易無塵室是快速方便建立的一座簡易潔凈室,簡易無塵室具備多種潔凈等級及空間搭配可以根據(jù)使用需求設(shè)計(jì)制作,因此其簡便運(yùn)用彈性大安裝容易且施工期短以及可移性為其主要特點(diǎn),簡易無塵室同時(shí)可針對在一般等級的潔凈室中局部地區(qū)需要高潔凈度的地方做局部增設(shè)以降低成本。潔凈工作棚:為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2。
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時(shí),其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室,末級過濾器滿布率時(shí),對大的系統(tǒng)采用FFU,當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。
(3)對潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室,末級過濾器滿布率≤40%時(shí)對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多,但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的,因此當(dāng)前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時(shí),采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。