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硅烷偶聯(lián)劑價格在電子工藝中的應(yīng)用
硅烷已成為半導(dǎo)體微電子工藝中使用的的特種氣體, 用于各種微電子薄膜制備, 包括單晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金屬硅化物等。
硅烷的微電子應(yīng)用還在向縱深發(fā)展: 低溫外延、選擇外延、異質(zhì)外延。不僅用于硅器件和硅集成電路,也用于化合物半導(dǎo)體器件(碳化硅等)。在超晶格阱材料制備中也有應(yīng)用??梢哉f現(xiàn)代幾乎所有先進的集成電路的生產(chǎn)線都需用到硅烷。硅烷的純度對器件性能和成品率關(guān)系極大,更高的器件需要更高純度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。Y中所帶的基團很容易和有機聚合物中的官能團反應(yīng),從而可以使硅烷偶聯(lián)劑與有機高分子基料連接。
硅烷偶聯(lián)劑價格處理的工序
硅烷表面處理劑可采用以下兩種方法對金屬表面改性:
(1) 浸漬硅烷化法
通過有機硅烷的特殊結(jié)構(gòu),金屬工件經(jīng)硅烷處理后,硅烷偶聯(lián)劑價格表面會吸附一層類似于磷化晶體的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的超薄有機納米膜(50~500nm),同時在界面形成結(jié)合力很強的Si-O-Me共價鍵(其中Me為金屬),硅烷偶聯(lián)劑價格可將金屬表面和涂層偶合,具有很好的附著力。采用電化學(xué)阻抗測試(EIS)研究了鋁合金膜層的耐蝕性及自愈性,發(fā)現(xiàn)在膜層具有自愈性能,掃描振蕩電極技術(shù)(SVET)測試結(jié)果也進一步證實了膜層的自愈性。
工藝流程:
脫脂→水洗→壓縮空氣吹干金屬表面→浸漬于硅烷溶液中→晾干
(2) 電沉積硅烷化法
優(yōu)化硅烷化金屬表面處理技術(shù),根據(jù)電沉積理論,陰極電位下金屬表面發(fā)生O2或H2O的去極化生成OH-,而OH-的生成促進了硅醇間的縮合反應(yīng),有利于硅烷膜的形成。
脫脂→水洗→壓縮空氣吹干金屬表面→硅烷溶液電沉積→ 晾干
由此可見,硅烷化處理可省去表調(diào)及磷化前后的水洗工序,處理時間大大縮短,減少了污水處理量。
硅烷偶聯(lián)劑價格的結(jié)構(gòu)與性質(zhì)
硅烷偶聯(lián)劑是一類分子同時含有兩種不同化學(xué)性質(zhì)基團的特殊結(jié)構(gòu)的有機硅化合物,可用以下通式表示:
Y-R-SiX3
硅烷偶聯(lián)劑價格式中:Y-R為非水解基團,X3為可水解基團。Y是可以和有機化合物起反應(yīng)的基團(如乙烯基、氨基、環(huán)氧基、疊氮基等),R是短鏈亞(也稱短鏈烷撐基)通過它把Y與Si原子連接起來;美國邁圖(MOMENTIVE)是全球首家也是目前規(guī)模較大的硅烷偶聯(lián)劑生產(chǎn)商,硅烷偶聯(lián)劑價格生產(chǎn)工廠在美國、日本和意大利。X是可以進行水解反應(yīng),并生成Si-OH的基團,一般的硅烷偶聯(lián)劑是含有三個可水解的基團。
Y與X是兩類反應(yīng)特性不同的活性基團。Y中所帶的基團很容易和有機聚合物中的官能團反應(yīng),從而可以使硅烷偶聯(lián)劑與有機高分子基料連接。當(dāng)X活性基團水解時,使Si-X能化為Si-OH,而Si-OH與被處理的硅微粉表面的OH形成氫鍵,同時進行加熱,產(chǎn)生縮合脫水反應(yīng),形成其價鍵結(jié)合。由此通過硅烷偶聯(lián)劑可將硅微粉體料與有機高分子材料之間產(chǎn)生一種良好的界面結(jié)合,使兩者可緊密的結(jié)合到一起。剩下的兩個Si-OH或者與其它硅烷偶聯(lián)劑中的Si-OH縮合,或者保持游離狀態(tài)。
在硅烷偶聯(lián)劑這兩類互異的基團中,以Y基團為重要,硅烷偶聯(lián)劑價格它對有機高分子制品的性能影響很大,起決定偶聯(lián)劑性能的作用。只有當(dāng)Y基團能和對應(yīng)的有機高分子材料起很好的反應(yīng)效果,才能使其基材的性能得到提高。
一般要求Y基團要與有機高分子材料能很好的相溶,并能起到偶聯(lián)的作用。所以對不同的有機高分子材料應(yīng)考慮選擇適當(dāng)?shù)腨基團硅烷偶聯(lián)劑。