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流量控制器優(yōu)點(diǎn)
熱式質(zhì)量流量器可測(cè)量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量;浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)可測(cè)量低~中偏高流速(氣體2~60m/s),插入式熱式質(zhì)量流量計(jì)更適合于大管徑。
熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)活動(dòng)部件,無(wú)分流管的熱分布式儀表無(wú)阻流件,壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性?xún)x表,雖在測(cè)量管道中置有阻流件,但壓力損失也不大。
熱式質(zhì)量流量計(jì)使用性能相對(duì)可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量?jī)x表相比,不需溫度傳感器,壓力傳感器和計(jì)算單元等,僅有流量傳感器,組成簡(jiǎn)單,出現(xiàn)故障概率小。
熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體,不必用這些氣體專(zhuān)門(mén)標(biāo)定,直接就用空氣標(biāo)定的儀表,實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右;用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可;用于其他氣體可用比熱容換算,但偏差可能稍大些。
氣體的比熱容會(huì)隨著壓力溫度而變,但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。
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流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn): 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號(hào); 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì)超過(guò)規(guī)定的范圍。只要做到以上三點(diǎn), MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。可以的測(cè)量微小流量,采用分流裝置,又可以測(cè)量大流量,而且溫度,壓力范圍很大。
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流量控制器
買(mǎi)質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器時(shí),還需要買(mǎi)其它配套產(chǎn)品嗎?
一般需要流量顯示儀與之配套使用。流量顯示儀為MFM/MFC提供工作電源,進(jìn)行流量顯示,對(duì)MFC進(jìn)行流量設(shè)定操作。如果將MFM/MFC直接和計(jì)算機(jī)測(cè)控系統(tǒng)相連,視情況也可以不配流量顯示儀。
另外根據(jù)系統(tǒng)的需要可以選購(gòu)截止閥﹑過(guò)濾器﹑干燥器﹑單向閥﹑管接頭﹑減壓器﹑背壓閥等。