安捷倫真空設備代理商常用解決方案【華誠浩達】

真空泵的特點

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

真空泵的基礎單位

1、真空泵的極限壓強，真空泵的極限壓強的單位是PA，指的是真空泵在入口處裝有標準試驗罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的低壓強。

2、真空泵的抽氣速率，真空泵的抽氣速率單位是有L/s、m3/h、L/min、m3/min等，是指泵裝有標準試驗罩，并按規(guī)定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩的位置測得的平衡壓強之比。簡稱為泵的抽速。

3、真空泵的抽氣量，真空泵的抽氣量是指泵入口的氣體流量。真空泵的抽氣量單位是Pam3/s、PaL/s、mbarL/s等。

4、真空泵的起動壓強 真空泵的起動壓強是指真空泵無損壞起動并有抽氣作用時的壓強，單位為Pa。

真空泵選型方法

選擇真空機組：

(1) 當使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足工藝要求。

(2) 有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。經(jīng)組合使用的真空泵，我們稱之為真空泵機組，它能使真空系統(tǒng)得到較好的真空度及排氣量。我們應正確地選擇組合的真空泵，由于不同的真空泵對抽除的氣體要求有不同的要求，例如：在一般情況下羅茨－旋片機組不適用于含有較多可凝性氣體的系統(tǒng)。

真空泵選型

真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對ya有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。