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潔凈室中的溫濕度控制：

    潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

    具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

    濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)蕞佳溫度范圍為35—45%。

    在電子生產(chǎn)車間中，隨著人的進(jìn)進(jìn)出出，往往會帶進(jìn)很多的灰塵顆粒，而高精密度的電子元器件，對于環(huán)境的要求特別的高，生產(chǎn)出來的電子元器件的質(zhì)量往往跟空氣中的懸浮灰塵顆粒有很大關(guān)系，所以在電子生產(chǎn)車間往往都要建設(shè)為無塵車間，保證空氣中的懸浮顆粒的數(shù)量以保證電子元器件的高質(zhì)量，無塵車間設(shè)備中的負(fù)離子凈化空氣系統(tǒng)能降低空氣中的懸浮顆粒物的濃度，讓電子生產(chǎn)環(huán)境更加的干凈。

保證凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)量：

即保證潔凈室內(nèi)的換氣次數(shù)，以滿足室內(nèi)氣流組織的需要。凈化空調(diào)系統(tǒng)在正常運(yùn)行時，應(yīng)定期對系統(tǒng)的送風(fēng)量進(jìn)行測定，測定點(diǎn)可選在送風(fēng)機(jī)進(jìn)出風(fēng)口處和送風(fēng)口處。因為系統(tǒng)的送風(fēng)量在設(shè)計時是從能量的消耗量，室內(nèi)應(yīng)有的氣流組織等諸方面來綜合考慮的。如果系統(tǒng)送風(fēng)量過低，則會使?jié)崈羰覂?nèi)送風(fēng)口處的氣流速度降低，從而破壞室內(nèi)的氣流組織形式，使室內(nèi)受到污染的空氣無法排出，達(dá)不到室內(nèi)要求的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。

系統(tǒng)送風(fēng)量的減少可能會有以下幾個因素：

1）皮帶傳動的風(fēng)機(jī)在運(yùn)行一段時間后由于皮帶的拉長，而使風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速下降，從而風(fēng)機(jī)輸送風(fēng)量減少。

2）空氣過濾器容塵量達(dá)到蕞大值，從而使空氣阻力加大，風(fēng)送不出去。