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真空腔體除塵過(guò)濾方式及過(guò)濾裝置大家了解多少呢?
有些真空工藝會(huì)產(chǎn)生大量的塵土,如果塵土隨被抽氣體進(jìn)入油封真空泵內(nèi)混在泵油中,會(huì)像研磨劑一樣加速泵腔內(nèi)零件的磨損,對(duì)泵轉(zhuǎn)子和泵腔造成磨損和損壞,堵塞油路或使泵無(wú)法運(yùn)轉(zhuǎn),如果塵土進(jìn)入真空閥門(mén)則會(huì)使密封失效而泄漏,因此塵土的規(guī)避和過(guò)濾己成為增加真空腔體的使用壽命,增加生產(chǎn)率的關(guān)鍵問(wèn)題,在有塵土的真空系統(tǒng)中,要采用塵土過(guò)濾器。真空腔體加工的注意事項(xiàng)真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體加工要考慮容積、材質(zhì)和形狀。
在塵土量較少時(shí),可以由泵油過(guò)濾系統(tǒng)濾除,但塵土量較大時(shí),為不讓真空泵損壞,讓真空泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)要使用除塵器。真空腔體加工廠家解釋說(shuō)常用塵土過(guò)濾方法有以下幾種:
(1)旋風(fēng)離心式。進(jìn)氣口與筒體成偏疼放置,塵土隨氣流旋轉(zhuǎn),因離心力效果而沉降在過(guò)濾器的底部。
(2)油淋式。在油泵的效果下,使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下,油霧與上升的氣流相互效果吸附,混在氣流中的塵土與油一同沉降至油池。
(3)油濕介質(zhì)粘附式。塵土在氣流效果下磕碰用真空泵油浸濕的介質(zhì)外表而被粘附,常用介質(zhì)有環(huán)狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。
(4)介質(zhì)阻撓式。使用介質(zhì)的機(jī)械阻撓效果過(guò)濾塵土,常用介質(zhì)有金屬絲網(wǎng)、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。
(5)靜電吸附式。使用真空中氣輝光放電構(gòu)成等離子體,塵土在等離子體中附著電荷,在電場(chǎng)力效果下被驅(qū)向電極外表而集。
(6)混合式。將以上幾種過(guò)濾形式進(jìn)行組合構(gòu)成混合的過(guò)濾形式。
真空腔體加工檢漏的辦法
一、真空封泥檢測(cè)法
用真空泥封住的漏點(diǎn),此時(shí)要注意觀察真空度的改變,假如貼上真空泥之后真空度上升較快,拿掉之后又有了顯著的下降,這說(shuō)明就是一個(gè)漏點(diǎn)哦。然而,這個(gè)辦法在實(shí)際檢測(cè)頂用的比較少
二、真空計(jì)檢漏法
部分真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類有關(guān),例如電離真空計(jì),熱偶計(jì)。用合適的氣體或許液體做示漏物質(zhì),這些真空計(jì)就成了探測(cè)器,一般鍍膜機(jī)上都會(huì)有真空計(jì),在實(shí)際使用中也是比較常用的檢漏辦法。熱偶計(jì)的示漏物質(zhì)有二氧化碳,丁烷,酒精等,熱偶計(jì)的反響比較慢,要仔細(xì)觀察。用于電離計(jì)的示漏物質(zhì)主要有氦,,酒精等。3*10-8Pa●L/S2、水冷水壓檢測(cè):標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)壓力:8公斤24小時(shí)無(wú)泄漏檢測(cè)。
真空腔體常用的清洗方法
1、超聲波清洗
超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對(duì)液體和污物直接、間接的作用,使污物層被分散、乳化、剝離而達(dá)到清洗目的.
2、電解侵蝕清洗
電解侵蝕清洗類似于電解拋光,是指在溶劑中利用電解作用,清除金屬部件表面上的薄銹或氧化膜等污染物,主要用于化學(xué)穩(wěn)定性較高的合金部件,如不銹鋼,耐熱鋼等.
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真空腔體制造技術(shù)
提供專用設(shè)備腔的定制服務(wù),腔體的外形和開(kāi)口可以根據(jù)用戶要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。
表面分析腔有通用腔體,用戶也可以在通用腔體的基礎(chǔ)上進(jìn)行自定義設(shè)計(jì)。
手套箱和焊接箱專用于熔煉或焊接鈦、鋅等對(duì)易在大氣中氧化的材料。
真空密封頸是基板和鐘形罩之間的過(guò)渡組件,它可以提供額外的高度和更多的自由端口。
裝載鎖定室是建在主腔體上的小腔體,可在不破壞主腔體真空度的條件下,將樣本、晶片或其他組件從外部大氣環(huán)境移動(dòng)到內(nèi)部高真空環(huán)境中。
真空腔體可以按照真空度進(jìn)行分類,包括粗或低真空度(< 760, > 1 torr),中真空度(< 1, >10-3 torr),高真空度(< 10-3, >10-8 torr),超高真空度(< 10-8 torr),以及非真空的高壓力 (> 760 torr)。真空腔的寬度和外徑等常規(guī)尺寸是非常重要的參數(shù)。標(biāo)準(zhǔn)鐘形罩或柱形腔體的可選直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。復(fù)雜的真空腔體通常需要定制,即針對(duì)應(yīng)用終端進(jìn)行專門(mén)的設(shè)計(jì)和制作。
真空腔體或者真空組件的可選項(xiàng)包括法蘭、裝配形式、表面拋光或電拋光、開(kāi)口或傳導(dǎo)口,加熱器和冷卻方式等。
Ferrotec在真空中制造中的解決方案
使用磁流體密封件作為在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中真空解決方案。磁流體密封件可以隔絕大氣和污染物。
制備的石英用來(lái)制造視口及配件等組件,石英在許多其他加工工藝中也有使用。
真空鍍膜可選Ferrotec的PVD電子束蒸發(fā)系統(tǒng)。
如需了解更多真空環(huán)境下的制造信息,請(qǐng)參考真空工業(yè)界的資料。
復(fù)雜的真空腔體通常需要定制,即針對(duì)應(yīng)用終端進(jìn)行專門(mén)的設(shè)計(jì)和制作。某些常見(jiàn)的真空腔體已經(jīng)過(guò)預(yù)先設(shè)計(jì),如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如脫氣箱和手套箱一般采用低真空環(huán)境,可用于焊接,或用于塑料制品、復(fù)合材料層壓板、封裝組件等的脫氣。真空設(shè)備包含很多組件,如真空腔體,真空密封傳導(dǎo)件,視口設(shè)置,真空傳感器,真空顯示表,沉積系統(tǒng),蒸發(fā)源和蒸發(fā)材料,濺鍍靶材,等離子刻蝕設(shè)備,離子注入設(shè)備,真空爐,專用真空泵,法蘭,閥門(mén)和管件等。