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新模式是徹底顛覆初中過濾的傳統(tǒng)模式,采用逆向液體高壓噴淋模式,同步動態(tài)消毒、自動除塵,形成交叉縱橫系統(tǒng),即為新風進入機組先是消毒、除塵,是避免管道積塵及二次污染;回風進入機組后,通過除塵、消毒后達標排放。這樣在不影響空氣流量、壓力控制、過濾系統(tǒng)、溫度、濕度等一些列問題,做到了恒效運行、自動除塵、節(jié)能減排及削減成本。
微電子C/R建設費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來,產(chǎn)品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認為適應性可節(jié)省一筆金錢,而適應性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵,所以他們從不將一開始的設計定型。
對于半導體工業(yè)而言,無塵室是一必要且不可缺之設備,其對空氣中的粒子要求非常之嚴格,故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸,而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學藥品,當我們看見地板磨損時,也就是使用期已太久,快破了,不僅會使得清靜度的降級,也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。
手術(shù)室凈化確保手術(shù)臺潔凈度達標,一般多采用垂直層流式效果較好 層流手術(shù)室是一個'正壓'環(huán)境,其空氣壓力根據(jù)其不同區(qū)域(如手術(shù)間、無菌準備間、刷手間、嘛醉間和周圍干凈區(qū)域等)潔凈度不同要求而不同。無菌手術(shù)室室安全的手術(shù)室空氣凈化系統(tǒng),保證手術(shù)室的無菌環(huán)境,可以滿足移植、心臟、血管、人工關(guān)節(jié)置換等手術(shù)所需的高度無菌環(huán)境。采用低毒消毒劑,以及合理使用,是保障一般手術(shù)室無菌環(huán)境的有力措施。