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由于氮氣與氧氣的沸點相差不大,液態(tài)空氣與氣態(tài)空氣需經(jīng)過反復多次的蒸發(fā)、冷凝、再蒸發(fā)過程(該過程稱為低溫精餾過程),終在精留塔頂部氣相餾分中就可以過得較高高純度的氮氣,氮氣的純度取決于精餾塔的塔板級數(shù)和精餾效率。
深冷分離法工藝已經(jīng)歷了 100 多年的發(fā)展,先后經(jīng)歷了高壓、高低壓、中壓和全低壓流程等多種不同的工藝流程。
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大氣中約有4,000萬億噸氣體,其中氮氣占78%。氮氣微溶于水和酒精。它是不可燃的,被認為是一種窒息性氣體(即,呼吸純凈的氮氣會剝奪人體的氧氣)。盡管氮被認為是一種惰性元素,但它會形成一些非常活躍的化合物。它可用作稀釋劑并控制自然的燃燒和呼吸速率,在較高的氧氣濃度下會更快。
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高純液氮純化方法:
氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產(chǎn)中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。
高純液氮的用途:
在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。