cvd化學(xué)氣相沉積常用指南「多圖」

真空磁控陰極濺射法：平板玻璃在具有高真空的真空腔體內(nèi)，處在負(fù)電壓的兩極間的工作氣體正離子在正交電磁場(chǎng)的作用下飛向陰極，在很短的陰極位降區(qū)內(nèi)獲得很大的能量去迅速轟擊靶材，從而使陰極(靶材)原子飛向玻璃基片--玻璃沉積膜層，濺射出的二次電子(此過(guò)程稱γ過(guò)程)在電磁場(chǎng)作用下按旋輪線運(yùn)動(dòng)參與碰撞電離，蟹衍載流子，這樣就能源源不斷地轟擊陰極，提供足夠數(shù)量的正離子，形成的等離子區(qū)使持續(xù)輝光放電，其可以一次完成多層鍍膜，有著的膜層均勻性，的邊緣復(fù)蓋和良好的附著力。鍍膜有著優(yōu)于和區(qū)別于其它真空磁控濺射鍍膜機(jī)的地方是：它的平面磁控靶上的磁場(chǎng)是由環(huán)形磁鐵產(chǎn)生的，可將半園環(huán)形磁鐵看成是無(wú)限T微扇柱狀磁鐵的組合 。Parylene的生物兼容性及其生物穩(wěn)定性使其能夠提供良好的防潮、防化學(xué)和介電保護(hù)。所以，其相應(yīng)點(diǎn)磁標(biāo)勢(shì)較穩(wěn)定，才能生產(chǎn)出均勻牢固的鍍膜層。

鍍膜是用物理或化學(xué)的方法在材料表面鍍上一層透明的電解質(zhì)膜，或鍍一層金屬膜，目的是改變材料表面的反射和透射特性。

光學(xué)鍍膜材料的原材料，絕大部分屬于儲(chǔ)量非常小的稀有金屬。這些稀有金屬隨著科技的發(fā)展，其需求長(zhǎng)期看漲。抽檢鏡片外觀確認(rèn)(裂邊,傷痕,不潔)情況,全檢鏡片鎖板情況(鏡片傾斜）。隨著鍍膜技術(shù)的不斷推廣，光學(xué)鍍膜技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域也在不斷拓寬，隨著我們生活水平的提高，這些具有優(yōu)異物理特性的金屬將為我們的生活帶來(lái)更多的精彩。

塑料中含有水分、殘留溶劑、單體、低聚合物、增塑劑等，揮發(fā)性小分子會(huì)在真空或升溫環(huán)境下逸出表面，嚴(yán)重影響真空鍍層對(duì)基材的附著力，而采用底涂技術(shù)就可阻礙這些小分子的逸出，提高真空鍍層對(duì)基材的附著力。

塑料基材與真空鍍層通常為金屬)兩者熱膨脹系數(shù)相差很大，在真空鍍膜升溫、降溫過(guò)程中膜層容易，膜層越厚，的可能性越大，因此選用合適的涂層作為過(guò)渡層，可以減少內(nèi)應(yīng)力的積累和的發(fā)生

Parylene是一種完全線性結(jié)構(gòu)的高結(jié)晶度透明薄膜材料，直接涂敷在被保護(hù)標(biāo)本上，無(wú)需另加防霉劑，本身防霉能達(dá)零級(jí)。脆弱的、標(biāo)本等可用Parylene加固保護(hù)，能防止標(biāo)本、生物、動(dòng)植物標(biāo)本朽蝕及蟲蛀，無(wú)需特殊保護(hù)就能長(zhǎng)期保存，被譽(yù)為是一種可給考古界、生物界帶來(lái)特殊福音的新型保護(hù)材料，能解決其它材料不能解決的保護(hù)問題。但(QCM)的準(zhǔn)確性是有限的，鍍膜機(jī)部分原因是其監(jiān)測(cè)代替光學(xué)厚度的涂層質(zhì)量。