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濕式蝕刻的優(yōu)缺點
低成本、高可靠性、高產(chǎn)能及優(yōu)越的蝕刻選擇比。但相對于干式蝕刻,除了無法定義較細的線寬外,濕式蝕刻仍有以下的缺點:1)需花費較高成本的反應溶液及去離子水;2)化學藥品處理時人員所遭遇的安全問題;3)光阻附著性問題;4)氣泡形成及化學蝕刻液無法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻;5)廢氣及潛在的性。
濕式蝕刻過程可分為三個步驟:1)化學蝕刻液擴散至待蝕刻材料之表面;2)蝕刻液與待蝕刻材料發(fā)生化學反應;3)反應后之產(chǎn)物從蝕刻材料之表面擴散至溶液中,并隨溶液排出(3)。三個步驟中進行慢者為速率控制步驟,也就是說該步驟的反應速率即為整個反應之速率。
大部份的蝕刻過程包含了一個或多個化學反應步驟,各種形態(tài)的反應都有可能發(fā)生,但常遇到的反應是將待蝕刻層表面先予以氧化,再將此氧化層溶解,并隨溶液排出,如此反復進行以達到蝕刻的效果。如蝕刻硅、鋁時即是利用此種化學反應方式。
高精密蝕刻工藝的起源與發(fā)展
高精密蝕刻工藝的起源與發(fā)展 高精密蝕刻技術的起源從有記載的數(shù)據(jù)可以追溯到14世紀,在那時人們對金屬高精密蝕刻還只能說是一種加工技術,還不能上升到工藝這個范疇,因為在當時及以后的幾百年里,高精密蝕刻只是由加工者自己的技術水準來決定其加工質(zhì)量,而不是所有人都可以學到這門技術。到了17世紀,由于硫酸、鹽酸、、、苛性堿等強有力地具有高精密蝕刻作用的強酸、強堿被先后發(fā)明,才使高精密蝕刻技術有了新的發(fā)展。 17世紀后期,人們已經(jīng)開始使用高精密蝕刻技術進行測量工具刻度的加工,作為工具已有別于以前的藝術品的加工,它要求其產(chǎn)品的一致性高,這就要求高精密蝕刻技術能做到一定批量的產(chǎn)品在質(zhì)量上的一致性,這就需要一種規(guī)范來規(guī)定每個加工工序的要求。 到了20世紀,由于與金屬高精密蝕刻有關的技術先后得到了解決,同時金屬高精密蝕刻技術經(jīng)過幾百年的的艱難歷程,人們也積累了足夠的經(jīng)驗,并在這些經(jīng)驗之上形成了高精密蝕刻的理論。使高精密蝕刻加工從航空航天到普通民用產(chǎn)品都被大量采用。
金屬鋼網(wǎng)蝕刻過程中的物理參數(shù)控制稀有金屬蝕刻參數(shù)的控制
金屬鋼網(wǎng)蝕刻過程中的物理參數(shù)控制 稀有金屬蝕刻參數(shù)的控制分為通用參數(shù)控制及蝕刻方式所決定的其他參數(shù)控制。通用參數(shù)控制主要是對在蝕刻過程中時間、溫度進行控制;由蝕刻方式所決定的其他參數(shù)控制包括侵泡蝕刻的溶液攪拌過程的控制以及噴射蝕刻的噴射壓力的控制。在化學參數(shù)可控制的范圍內(nèi),物理參數(shù)的控制對于維持其蝕刻速度的恒定及蝕刻均勻性是非常重要的。物理參數(shù)的控制相對于化學參數(shù)的控制來說要容易得多,也直觀得多,同時,一些設備對溫度、時間及噴射壓力都有自控裝置,只需要預先將這些參數(shù)輸入即可。