惠州超精密三坐標氣浮導軌給您好的建議【光波超精密】

光波超精密——超精密三坐標氣浮導軌

氣浮導軌是利用空氣粘性，將外部壓縮空氣通過節(jié)流器導入導軌與滑塊間隙中，形成具有超高剛度的氣膜間隙，從而支撐負載實現(xiàn)平穩(wěn)運動。

應(yīng)用行業(yè)：電子制造裝備行業(yè)中，如光刻機、貼片機等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測量及實驗室測量

使用壽命摩擦系數(shù)接近為零，永不i磨損，精度延續(xù)性精度持久性高，出廠精度即為永i久精度導軌永不i磨損，因此不存在售后問題，使用成本不用返廠維修，更不用整套更換。

基準修正精度永不損失，導軌不用人為修正，補償，高頻雜波信號干擾測量精度高。氣膜剛度大，運動平穩(wěn)，振幅小，且振動頻率接近，因此可完全避免和消除在高精度測量中振動對測量精度的影響，

光波超精密技術(shù)研究院——超精密三坐標氣浮導軌

氣浮導軌，簡單易行，即利用壓縮空氣使滑塊和導軌座相對懸浮，實現(xiàn)無摩擦、無振動的平滑運動，并具有高精度導引。氣浮導軌相位滾動導軌的優(yōu)點有：1.無摩擦、磨損小、壽命長。氣模厚度極i小，且均勻度好，精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒有關(guān)系，即使在非常低速也不會產(chǎn)生爬行，運動平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護、清潔環(huán)保。

大理石氣浮導軌的便用要水

當運動件沿著承導件作直線運動時,承導件上的花崗石氣浮導軌起支承和導向的作用.為了保證花崗石導軌作用的實現(xiàn).在設(shè)計的時候要完成這些相應(yīng)的要求:

1.①定的導向精度.導向精度是指運動件沿花崗石氣浮導軌移動的直線性,以及它與有關(guān)基面間的相互位置的準確性.

2.運動輕便平穩(wěn).工作時,應(yīng)輕便省力,速度均勻,低速時應(yīng)無爬行現(xiàn)象.

3.良好的耐研磨性.導軌的耐研磨性是指導軌長期使用后.,能保持①定的使用精度.花崗石氣浮導軌在使用過程中要磨損.但應(yīng)使磨損量小,且磨損后能自動補償或便于調(diào)整.

4.足夠的剛度.運動件所受的外力,是由花崗石氣浮導軌面承受的,故導軌應(yīng)有足夠的接觸剛度.為此,常用加大導軌面寬度,以降低導軌面比壓;設(shè)置輔助導軌,以承受外載.

5.溫度變化影響小.應(yīng)保證花崗石氣浮導軌在工作溫度變化的條件下.仍能正常工作.

6.結(jié)構(gòu)工藝性好.在保證花崗石氣浮導軌其它要求的前提下,應(yīng)使花崗石氣浮導軌結(jié)構(gòu)簡單.便于加工、測量、裝配和調(diào)整,降低成本.

花崗石氣浮導軌是花崗石構(gòu)件中常見的一種,由于選用了花崗石原料.具有了花崗石本身的優(yōu)勢,具有良好的穩(wěn)定性.能在重負荷下保持高精度.

導軌按軌面摩擦性質(zhì)可將導軌分為滑動導軌、滾動導軌、液體靜壓導軌、氣浮導軌、磁浮導軌?；瑒訉к壗Y(jié)構(gòu)簡單，剛性好，摩擦阻力大，連續(xù)運行磨損快，制造中軌面刮研工序的要求很高?；瑒訉к壍撵o摩擦因數(shù)與動摩擦因數(shù)差別大，因此低速運動時可能產(chǎn)生爬行現(xiàn)象。

滑動導軌常用于各種機床的工作臺或床身導軌，裝配在動軌上的多是工作臺、滑臺、滑板、導靴、頭架等。導軌截面有矩形、燕尾形、V形、圓形等。重型機械中常將幾種截面形狀組合使用，共同承擔導向和支承的作用。

滑動導軌的特點

滑動導軌的特點是在導軌與滑動件之間使用了介質(zhì)，介質(zhì)的種類包括固態(tài)抗摩擦材料、油以及空氣等，滑動導軌也因此而分為不同的類型。

普通的抗摩擦導軌是在移動組件上安裝了一種固態(tài)抗摩擦材料，比如聚氯i乙烯或青銅混合材料等，以起到降低導軌摩擦力的作用。抗摩擦材料應(yīng)設(shè)計有油槽，滿足移動組件和導軌表面之間油潤滑或其它形式潤滑的需要。

使用為廣泛的是液壓介質(zhì)，其中的典型代表就是靜壓導軌。在壓力作用下，液壓油進入滑動組件的溝槽，在導軌和滑動組件之間形成一層油膜，將導軌和移動組件隔離開，這樣可以大大減少移動組件受到的的摩擦力，從而起到潤滑作用。

滾動導軌是在運動部件與支承部件之間放置滾動體，如滾珠、滾柱、滾針或滾動軸承。滾動導軌的優(yōu)點是：摩擦系數(shù)不大予滑動導軌摩擦系數(shù)的1/10，靜摩擦因數(shù)與動摩擦因數(shù)差別小，不易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，可用小功率電動機拖動，定位精度高，壽命長。