專業(yè)進口分子泵維修報價品牌企業(yè)

進口分子泵維修

真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道?原因：油池或密封不良。分子泵維修方法：檢查油池。正常使用下，為什么分子泵油池會出現(xiàn)裂紋或者變形?原因：過熱，負(fù)載大?！【S修方法：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng)。分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w

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對于高真空/超高真空系統(tǒng)，當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)的壓力低于10-6毫巴以后，系統(tǒng)內(nèi)氫氣占的比例越來越大，而此時氫氣的返流也越來越明顯，因此此時分子泵的有效抽速已經(jīng)與產(chǎn)品說明書給出的參數(shù)相差很大了。分子泵對氫氣的壓縮比越大，分子泵對氫氣的實際有效抽速就越大；反之，則實際有效抽速已經(jīng)所剩無幾。

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異物進入分子泵：工藝環(huán)境粉塵較多或有異物進入分子泵時，會對高速旋轉(zhuǎn)的葉片和轉(zhuǎn)子造成巨大損害，建議立即停機送修檢測。分子泵無法達(dá)到全速，真空度抽不下去：請檢查前級真空是否正常，如果是分子泵組，請先打開氣鎮(zhèn)閥抽一段時間后在觀察下，無法解決問題建議立即送修檢測