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實(shí)驗(yàn)室工程通風(fēng)行業(yè)專家在線為您服務(wù) 山西東勝科星

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發(fā)布時間:2020-07-23 22:09  






關(guān)于實(shí)驗(yàn)室凈化設(shè)備:空調(diào)機(jī)內(nèi)部分類【山西東勝科星實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司】

加熱段:可采用熱水加熱、蒸汽加熱、電加熱等;電加熱采用不銹鋼光管制作,表面光滑無翅片,耐腐蝕,不易積灰,易清洗;

加濕段:可采用干蒸汽加濕或電極加濕,確保停機(jī)后加濕器內(nèi)無積水,消除加濕器內(nèi)細(xì)菌滋生的可能性;

滅菌性:可選用紫外線或臭氧發(fā)生器進(jìn)行滅菌,徹底破壞機(jī)組內(nèi)細(xì)菌的生存環(huán)境;


實(shí)驗(yàn)室凈化車間對濕度的控制有哪些要求【山西東勝科星實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司】

濕度控制是凈化車間生產(chǎn)必需具備的重要條件,相對濕度是凈化車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體凈化車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。


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