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INFICON 提供一系列先進的測量和控制產(chǎn)品，包括殘余氣體分析儀、射頻傳感器、過程控制軟件、檢漏儀、真空計和元器件，這些產(chǎn)品專為半導體工具制造商而設計，旨在改 善其產(chǎn)品的運作及其生產(chǎn)過程。 我們還提供為半導體設備制造商高度專業(yè)化的解決方案，通過優(yōu)化過程監(jiān)控、分析和控制，幫助他們提高生產(chǎn)量，延長工具正常作業(yè)時間。流量單位4)反壓力是指需要前級真空的真空泵，在一定的負荷下運轉(zhuǎn)時，其反壓力升高到某一定值時，則泵失去正常的抽氣能力，該反壓力稱為反壓力。

PFEIFFER普發(fā) HiPace? 300具有 260 l/s 對于 N2 抽吸能力的緊湊、渦輪泵產(chǎn)品描述緊湊結構的高可靠性對于所有氣體的高抽吸能力和極高壓縮準 S2 和 UL/CSA 認證理想適用于工業(yè)和研究集成的驅(qū)動電子裝置，防護類型 IP54 適合于工業(yè)用途運行數(shù)據(jù)的持續(xù)監(jiān)控

PFEIFFER 普發(fā) 渦輪分子泵 Hipace 300 H 特性轉(zhuǎn)子特殊設計，啟動壓力 30 hPa對小分子量氣體有超高的壓縮比保證超低殘余氣體背景即使與隔膜泵聯(lián)用，也能保證超高的真空度

廣州潽拓——愛德華 NEXT300D英國愛德華分子泵維修-愛德華d NEXT300T TURBO pump保養(yǎng)-愛德華NEXT300T二手分子泵 愛德華NEXT300D/NEXT300T愛德華渦輪分子泵進氣法蘭口DN100ISO-K DN100CF，出氣法蘭口DN25，抽速可達到300 L/s，轉(zhuǎn)速為60000rpm，對應的控制器為：愛德華 TIC200。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。

愛德華NXT240D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結合使用的復合分子泵，有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口，對N2的抽速為240l/s。nEXT泵采用愛德華成熟的軸承技術，上軸承為磁懸浮軸承，下軸承為油潤滑陶瓷軸承，并改進轉(zhuǎn)子設計，使其更加有效地實現(xiàn)分子拖曳行程，終提高抽速和壓縮比，同時真正實現(xiàn)了用戶自行維護。它們采用24V到48V直流無傳感器電機，內(nèi)置驅(qū)動，與愛德華的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種預設功率可選，前者可使用100W TIC控制器，適用于抽氣，但在該功率下達到滿轉(zhuǎn)速的加速時間較長。阿爾卡特真空泵維修不僅是單純的零件更換，還涉及真空泵轉(zhuǎn)子，葉片，軸位等，精度高，難度大的修復工序，對于零件安裝也是真空泵維修技術范圍之內(nèi)，這些因素都決定著真空泵維修后真空泵能否按之前的技術進行運轉(zhuǎn)，所以選擇好的真空泵維修廠家至關重要。

基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。