真空鍍膜加工常用解決方案【菱威納米】

Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時(shí)就完全沒有，5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。

釹鐵硼稀土磁性材料是一種問世不久的新型強(qiáng)磁材料

　　 釹鐵硼稀土磁性材料是一種問世不久的新型強(qiáng)磁材料。近年來在小型馬達(dá)、汽車電子，工具、揚(yáng)聲器、電力工具等方面應(yīng)用發(fā)展很快。但釹鐵硼稀土磁性材料弱點(diǎn)是容易被空氣中的水分及氧氣所腐蝕，因此必須有一個(gè)安全可靠的防護(hù)涂層釹鐵硼稀土磁性材料才有使用價(jià)值。目前國內(nèi)常用兩種方法進(jìn)行防護(hù)，一種是傳統(tǒng)的電鍍工藝在 鐵硼磁性材料表面鍍上鎳、鋅或錫、金等。這些涂層有時(shí)會(huì)影響磁性材料的表磁等特性，有的在鹽霧試驗(yàn)時(shí)仍不能對(duì)釹鐵硼磁性材料提供有效的防護(hù)。另一種方法是用環(huán)氧樹脂材料進(jìn)行電泳涂敷，但電泳涂敷時(shí)工件表面必須有一掛點(diǎn)，掛點(diǎn)的修補(bǔ)不僅費(fèi)工費(fèi)時(shí)，而且質(zhì)量難以保證。 Parylene真空氣相沉積可控制涂層厚度進(jìn)行無支點(diǎn)全涂敷防護(hù)。Parylene又是一種透氧、透水汽率非常低的高分子薄膜材料，因此TDK等公司在九十年代初就開發(fā)了Parylene涂敷稀土磁性材料的技術(shù)和產(chǎn)品，目前國外小型釹鐵硼稀土磁性材料都已采用Parylene進(jìn)行防護(hù)。

Parylene涂層和熱膨脹系數(shù)有什么區(qū)別?

Parylene的用量非常小，這樣涂層和基材之間的熱膨脹系數(shù)就不會(huì)有很大差別,幾乎不存在任何膨脹/收縮及變形等. 傳統(tǒng)的噴涂、浸漬或刷涂的液體涂層可能會(huì)適用于某些線圈繞組，但是這些材料有許多隱患。例如，固化液體涂層的厚度取決于它們?nèi)軇┑臐舛龋瑥澰旅婧捅砻鎻埩σ矔?huì)將涂層從尖銳的棱角邊緣劃落下來，在未完全固化前就聚集在角落里。液體涂敷的平均固化厚度一般在0.005至0.010英寸之間。在平整表面，涂層厚度可能需要有0.005英寸或更厚，只有這樣外部角落里、尖銳棱角和邊緣處的液體涂層的厚度才能達(dá)到0.001尺寸。有些時(shí)候，基材與涂層的熱膨脹系數(shù)會(huì)有所不同，導(dǎo)致在溫度變化周期內(nèi)產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力。涂層越厚或溫度越高，這樣情況就會(huì)越嚴(yán)重。

       由于納米防水涂層材料的自清潔表面作用，在電子產(chǎn)品行業(yè)的應(yīng)用廣泛。基于超疏水原理的自清潔表面由于其獨(dú)特的表面微觀結(jié)構(gòu)和優(yōu)異的超疏水性能，使液體難以在其表面附著。

       納米防水涂層是一種無色透明，不燃燒的防潮防濕防腐蝕的液態(tài)產(chǎn)品。韌達(dá)納米能根據(jù)產(chǎn)品不同使用不同濃度的涂料，zui普通使用的涂層厚度能達(dá)到0.5nm-1.0μm左右?？捎行Ы档头雷o(hù)組件表面能，使沉積在防護(hù)組件表面的水滴接觸角趨于zui大值，呈現(xiàn)出較強(qiáng)的超疏水性能。簡單來說就好像荷葉的表面，具有疏水、不吸水的表面，落在上面的液體會(huì)因表面張力的作用形成水珠。由于其高透光性，也不會(huì)影響到光學(xué)鏡頭的清晰度。