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高純供氣系統(tǒng)生產(chǎn)廠家來電咨詢【艾明坷】

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發(fā)布時(shí)間:2021-01-12 14:24  






大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹

大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。漏孔堵塞現(xiàn)象:指由于真空檢漏作業(yè)操作不當(dāng)導(dǎo)致塵?;蛞后w堵塞漏孔,檢漏時(shí)似乎不漏氣,但一經(jīng)排氣就會(huì)出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

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特氣系統(tǒng)知識分享:標(biāo)準(zhǔn)氣體

所謂標(biāo)準(zhǔn)氣體就是用來校正測量儀器、評價(jià)測定方法、給出未知樣品氣標(biāo)準(zhǔn)值的氣體。3、外向檢漏法(吸槍法)應(yīng)采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣,外部應(yīng)采用吸槍檢查漏點(diǎn)的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。它分為調(diào)整零位用標(biāo)準(zhǔn)氣體(零位氣體)、監(jiān)測環(huán)境用標(biāo)準(zhǔn)氣、工業(yè)分析用標(biāo)準(zhǔn)氣體、醫(yī)1療儀器用標(biāo)準(zhǔn)氣體、可燃性氣體泄漏用標(biāo)準(zhǔn)氣體、燃燒器尾氣用標(biāo)準(zhǔn)氣體六大類。由于使用了標(biāo)準(zhǔn)氣,所以即使在不同場所測定,也具有相同測定值。

標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)用范圍很廣,在化工、石油冶金、機(jī)械、航天、電子、陶瓷、汽車、光纖、激光、潛水、環(huán)保、切割、焊接、食品加工等工業(yè)部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工領(lǐng)域?qū)?biāo)準(zhǔn)氣體的需求量相對較大。

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試驗(yàn)室供氣現(xiàn)狀

目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統(tǒng)完成上述工作。同時(shí),當(dāng)?shù)叵酪?guī)范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲(chǔ)槽放置在工作區(qū)外的指1定區(qū)域,然后將氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗(yàn)室內(nèi)。

但是考慮安全和效率因素,不考慮經(jīng)濟(jì)性因素,集中供氣系統(tǒng)是比較優(yōu)1秀的方式。并成為當(dāng)今試驗(yàn)室設(shè)備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應(yīng)源,氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗(yàn)室內(nèi),并可通過安裝在工作臺(tái)上的使用點(diǎn)二級減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。

國內(nèi)比較老的試驗(yàn)室在使用氣體的時(shí)候大多是將氣瓶放在用氣點(diǎn)的旁邊,然后在氣瓶出口處安裝一個(gè)減壓器,然后直接通過紫銅管或四氟軟管連接到儀器上,如果一個(gè)試驗(yàn)室里有多個(gè)使用設(shè)備時(shí),就會(huì)有很多氣瓶,同時(shí)有很多雜亂的管路,同時(shí)這些氣體不乏有毒氣體、強(qiáng)腐蝕氣體,以及氣瓶出口高壓等因素,使得這種方式在現(xiàn)實(shí)使用過程中是充滿危險(xiǎn)性的。并成為當(dāng)今試驗(yàn)室設(shè)備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應(yīng)源,氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗(yàn)室內(nèi),并可通過安裝在工作臺(tái)上的使用點(diǎn)二級減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。



電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測規(guī)定

1、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測儀,其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統(tǒng),內(nèi)向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后,應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗(yàn),合格后再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏。所有可能泄漏點(diǎn)應(yīng)用塑料袋進(jìn)行隔離。系統(tǒng)測試完畢,應(yīng)充入高純氮?dú)?,并進(jìn)行吹掃。測試完畢后,應(yīng)提交測試報(bào)告。



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