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流量控制器

熱式質(zhì)量流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內(nèi)的被測流體加熱，熱能隨流體一起流動，通過測量因流體流動而造成的熱量（溫度）變化來反映出流體的質(zhì)量流量。

當流體成分確定時，流體的定壓比熱為已知常數(shù)。因此由上式可知，若保持加熱功率恒定，則測出溫差便可求出質(zhì)量流量；氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。若采用恒定溫差法，即保持兩點溫差不變，則通過測量加熱的功率也可以求出質(zhì)量流量。由于恒定溫差法較為簡單、易實現(xiàn)，所以實際應用較多。這種流量計多用于較大氣體流量的測量。

為避免測溫和加熱元件因與被測流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕，可采用非接觸式測量方法，即將加熱器和測溫元件安裝在薄壁管外部，而流體由薄壁管內(nèi)部通過。非接觸式測量方法，適用于小口徑管道的微小流量測量。當用于大流量測量時，可采用分流的方法，即僅測量分流部分流量，再求得總流量，以擴大量程范圍。因此在低和非常低流速流動時要獲得準確測量，必須遵循制造廠依據(jù)儀表設(shè)計結(jié)構(gòu)而定的安裝建議。

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氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。1，此時自然對流換熱與由于流體運動所導致的受迫對流換熱相比十分微弱。

選擇產(chǎn)品和訂貨時應當注意什么？

這一點關(guān)系到用戶的切身利益，涉及的問題也比較多，因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀的回答。

(1) 注意選擇正確的品牌

一般應當衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷售價格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽等因素。

(2) 注意選擇正確的量程

A. 將您需要的流量換算成標準狀態(tài)下的流量（質(zhì)量流量）。

B. 根據(jù)廠家提供的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表，將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮氣（標定氣體）等價的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實際使用的氣體標定，請向廠家說明。有關(guān)質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)的問題，以下還有進一步解答。

C. 確定所需標準量程。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標準量程，您實際使用的流量值應接低于某個標準量程值。標準量程的選取要避免過大或過小。質(zhì)量流量的誤差指標是按滿量程值的百分比規(guī)定的，如果實際流量較小而量程值選取過大，則測量值的相對誤差較大。

怎樣選擇流量顯示單位？

我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位，即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據(jù)用戶的要求設(shè)定。按百分比顯示的方式，即是將 MFM / MFC 的流量測量值按其占滿量程的百分比來顯示，例如，規(guī)格為50SCCM的MFM/MFC，當顯示值為80%時，實際的流量為40SCCM。對任何一種規(guī)格的MFM/MFC，滿量程值都顯示為100%。這種方式通用性好，可配不同量程的MFM/MFC，但不直觀，有的用戶不習慣。質(zhì)量流量控制器（MassFlowController縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。

按 SCCM或 SLM顯示，出廠時對流量顯示的范圍與相應的MFM/MFC的量程進行匹配，使用時顯示值即是流量值，很直觀，符合習慣，為多數(shù)用戶所采用。 匹配好后，原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用，只是顯示值需要修正。