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氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方式
1、示蹤氣體A放在容器里面,處于正壓,然后用氦質(zhì)譜檢漏儀去檢測,容器外圍是否有氣體A,如果容器外有氣體A,則容器有漏。用這種方式能檢測出漏點,并能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫Sniffer檢漏或正壓檢漏。
2、示蹤氣體A噴在容器外面,用氦質(zhì)譜檢漏儀去檢測容器里面是否有氣體A。這種方式能檢測出漏點,并能測知漏率。這種檢漏方式叫真空檢漏。
如何選擇檢漏方式,與檢測對象的工作環(huán)境有很大關(guān)系,盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。如檢測對象工作時內(nèi)部處于正壓,則用正壓模式,如檢測對象工作時內(nèi)部處于負(fù)壓,則用真空模式。
氦質(zhì)譜檢漏儀示蹤氣體選擇
對示蹤氣體的要求:氦質(zhì)譜檢漏儀都用氦氣(He)作為示蹤氣體,也有用氫氣(H2)作為示蹤氣體的質(zhì)譜檢漏儀器。
氫和氦都是比較理想的示蹤氣體:空氣中的含量少,質(zhì)量輕,運動速度快,同等條件下,直線運動距離長。實際使用中,也相對比較容易獲取,可以大量使用。但氫氣在使用中有一定的安全問題,所以實際大部分檢漏使用的是氦氣。質(zhì)譜檢漏儀器示蹤氣體一般具有以下特點:
1、無害,不能對人體或環(huán)境造成傷害。
2、質(zhì)量輕,惰性氣體,能穿透微小細(xì)縫。
3、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會起化學(xué)反應(yīng)。
4、Z好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體,才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。
氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)
氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)一般包括:
1、主泵:一般用護散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-4Pa,其抽速應(yīng)導(dǎo)氣載匹配。
2、前級真空泵:一般采用旋片式機械真空泵,在以分子泵為主泵的系統(tǒng)中也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa,抽速導(dǎo)主泵匹配。
3、預(yù)抽真空泵:一般與前級真空泵共用一個泵,也有專用預(yù)抽真空泵的。預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵,其抽速視被檢件大小而定,因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。
4、冷阱:分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。護散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴散泵之間,使三者被冷阱隔離。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室,保持質(zhì)譜室的清潔,并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。
真空壓力法氦質(zhì)譜檢漏
采用真空壓力法檢漏時,需要將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室內(nèi),真空密封室與輔助抽空系統(tǒng)和檢漏儀相連,被檢產(chǎn)品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室后,再與氦氣源相連,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時,氦氣就會通過漏孔進(jìn)入真空密封室,再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。真空壓力法的優(yōu)點是檢測靈敏度高,能實現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測,反映被檢件的真實泄漏狀態(tài)。