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在一個操作間,機器以及機器周圍走動的人員,會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流,從而在障礙物周圍形成氣流團。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中,由于風(fēng)速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。因此,必須將風(fēng)速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復(fù),充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風(fēng)速可以正確地表示出單向流,因為風(fēng)速越高室內(nèi)就越潔凈。而每小時換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān),如吊頂?shù)母叩?,因此不適合用來表示單向流。
光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。
無塵車間凈化工程該如何選擇與維護保養(yǎng)呢?
1.應(yīng)選擇塵土性偏少的凈化工程及有關(guān)設(shè)備,特別是在要留意主題活動一部分的塵土。
2.應(yīng)選擇浮塵之危害較小的凈化工程或插口設(shè)備。
3.制造用的水、汽體、等通常是導(dǎo)致環(huán)境污染的緣故,故應(yīng)配置過濾系統(tǒng)。
4.設(shè)計各設(shè)備的配備室內(nèi)空間時,事前宜考慮到不容易累積微塵的構(gòu)造,設(shè)計各并且以非常容易清理為標(biāo)準(zhǔn)。
5.機械泵等非常容易造成空氣污染物的這種設(shè)備,應(yīng)設(shè)定在潔凈室外邊或送風(fēng)區(qū),并改裝排汽管線排氣管。
6.設(shè)定排水管道線、汽體管道和電路系統(tǒng)時,其結(jié)構(gòu)須充分考慮非常容易清理,不容易累積空氣污染物。
7.制造及有關(guān)設(shè)備應(yīng)按時清理,以防止微塵的沉積。