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微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來(lái),產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢,而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵,所以他們從不將一開始的設(shè)計(jì)定型。
對(duì)C/R而言,其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上,若太硬的地板覆蓋會(huì)引起塵埃,而太軟的地板會(huì)造成地板彎曲甚致裂,但并不是所有C/R的地板,都會(huì)覆蓋,乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式,而多面層流都是沖孔式。乙烯基有一作用即脫氧,但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會(huì)有減低脫氧的效果,而無(wú)塵室的墻若以鋁作為材料則將會(huì)非常昂貴,但鋁卻可以保護(hù)墻面不被空氣所氧化,可是卻易受酸性氣體的侵蝕,而避免的方法是使用電鍍,便鋁表面增厚,不易氧化,再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。
潔凈車間表面光滑,盡可能減少集塵面,輪廓簡(jiǎn)潔。潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)合理確定廠房的耐火等級(jí)、屋頂、墻面等材料的耐火極限以及防火通道的配置。考慮到生產(chǎn)工藝、配風(fēng)、管道敷設(shè)、照明、建筑空間處理等因素,確定合適的斷面形式和層高,以節(jié)約能源,簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu),降低成本。清潔車間的內(nèi)部設(shè)計(jì)應(yīng)營(yíng)造愉快的心理環(huán)境,減少抑郁的感覺。