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流量控制器的原理是什么？

質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器的剖面結構圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。氣體質量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。在被測流體處于壓力、溫度等參數(shù)變化很大的條件下，若僅測量體積流量，則會因為流體密度的變化帶來很大的測量誤差。

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流量控制器安全使用準則

①質量流量控制器應用的成功與否，與安裝有直接關系。對于三氯化硼等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。除正常安裝要求外，要特別注意減少振動影響，因為質量流量控制器是基于振動原理工作的，外加振動會引入干擾。但盡可能小的外界干擾對測量無疑是有益的，所以對來自管線及現(xiàn)場環(huán)境的振動要盡量設法避免。

②儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準確的零點標定，質量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表，零點的漂移對測量結果有影響，長期使用時一定要定期進行標定。

③一定要避免超過使用質量流量控制器范圍的情況發(fā)生，這會引起儀表測量度的下降，嚴重時會導致儀表損壞。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作，將會使檢測線圈損壞而使儀表無法再使用。

④質量流量控制器度高，其價格也很高，這就要求對其精心維護，如給其配備高質量的穩(wěn)壓電源，對現(xiàn)場的振動及使用條件進行經常檢查等，以保證度及儀表的安全。

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流量控制器

一般而言，僅對流量進行計量或監(jiān)測時，用質量流量計；需要對流量進行控制時，用質量流量控制器。流量控制器特點1、穩(wěn)定的流量供給，不受溫度、壓力變化2、寬量程比，可達100：13、高達0。某些測量場合，用二者皆可，如對毛細管流通能力的測量,當定壓測流的時候, 用質量流量計; 當定流測壓時, 需要用質量流量控制器。注意, 當質量流量控制器處于清洗狀態(tài)時, 也可以當質量流量計使用, 只不過氣壓降要比普通質量流量計大一些。